[发明专利]一种快速上料的半导体光刻板清洗装置

权利要求书

1.一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，该装置包括外罩机架组件以及依次设置在外罩机架组件内的上料机构、第一旋转抓取装置、第一定位顶升输送滚轮装置、第一输送滚轮装置、第一直线移动抓取机构、第一清洗装置、第二输送滚轮装置和第一粘尘机构；所述的上料机构上的光刻板通过第一旋转抓取装置放置至第一定位顶升输送滚轮装置，第一定位顶升输送滚轮装置连接第一输送滚轮装置，第一输送滚轮装置上的光刻板通过第一直线移动抓取机构放置至第一清洗装置并由第一直线移动抓取机构取出放置至第二输送滚轮装置，第二输送滚轮装置连接第一粘尘机构；其特征在于，所述的上料机构包括放料座、辊道和上料小车；可移动式放料座用于放置待加工的光刻板，放料座底面平整，上部设置V型储料槽，V型储料槽的出料一边低于靠料一边；所述的辊道安装在两侧的辊道侧板中，辊道侧板固定安装在机架上，辊道与上料小车相互衔接，放料座能在辊道和上料小车上移动；所述的辊道的末端设置有料座锁紧装置锁紧放料座和辊道，并在辊道的外侧设置有小车锁紧装置锁紧上料小车和辊道。

2.根据权利要求1所述的一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，料座锁紧装置包括旋转气缸和锁紧板，旋转气缸设置在辊道靠近设备里面的一端，锁紧板的一端安装在旋转气缸上，不旋转时，锁紧板一侧与辊道水平，旋转气缸旁还安装有接近传感器，辊道侧板两侧也各有一个接近传感器，旋转气缸两旁还装有两个限位块。

3.根据权利要求1所述的一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，小车锁紧装置包括两个气缸、导向杆和锁紧板，在辊道靠近外面的一侧下方有一固定安装在机架上的挡板，挡板内测安装有两个气缸， 气缸旁还有两个导向杆，气缸和导向杆共同安装在气缸安装板上，气缸安装板通过两个杆固定安装机架上，两根杆上个安装有一个小车滚轮；挡板的另一侧，与小车滚轮对应的位置有两个窗口，小车滚轮通过窗口露出来；所述的锁紧板与气缸的活塞杆相连接，锁紧板上设置有横架，横架上设置有放横梁的槽；上料小车的一端放置在横架的槽里，并在横架上设置有插板，气缸上升时插板能与上料小车上的横梁相互锁紧。

4.根据权利要求1所述的一种快速上料的半导体光刻板清洗装置，其特征在于，第一旋转抓取装置包括真空吸盘装置和摆臂装置；

所述的真空吸盘装置包括真空连接板、真空吸盘调节架和真空吸盘，真空连接板固定连接着数根真空吸盘调节架，每个真空吸盘调节架上方设置有导向槽，多个吸盘调节架通过调节螺母固定设置在导向槽上，真空吸盘安装板固定安装有吸盘连接杆，吸盘连接杆的底端连接着真空吸盘；

所述的摆臂装置包括第一电机、第二电机、旋转轴承座、旋转轴和摆臂，第一电机位于在整个装置的最上方，安装固定在机架上，电机通过皮带与旋转轴连接，旋转轴两端各安装有一个旋转轴承座，旋转轴承座固定在机架上旋转轴的中部，固定安装有摆臂，摆臂顶端装有第二电机，第二电机下方连接有一根旋转丝杠，旋转丝杠两端通过两个丝杠轴承座安装在摆臂上，与第二电机在同一直线上，摆臂的一侧固定有轨道，轨道上有滑块，滑块通过驱动连接块与旋转丝杠连接，当旋转丝杠正转、反转时，能带动滑块上下移动；滑块上连接有摆臂支架，摆臂支架能随着滑块的上下移动而移动，摆臂支架的下部连接真空连接板。