[发明专利]干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法

权利要求书

1.一种干燥箱，其特征在于，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；所述待干燥器件为形成有待干燥图案的基板；

所述热板包括基底和设置在所述基底上的多个相互独立的加热源；多个所述加热源在所述基底上的正投影的形状不完全相同；

所述基底上设置有凹槽，所述加热源设置在所述凹槽内，所述干燥箱还包括控制结构，所述控制结构用于控制所述加热源沿所述基底的厚度方向上下移动；

还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；所述温度控制器为设置有热电偶的电加热结构，所述电加热结构根据所述热电偶反馈的温度实时调整输出电流；

其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。

2.根据权利要求1所述的干燥箱，其特征在于，所述基底为绝热材料。

3.根据权利要求1所述的干燥箱，其特征在于，每个所述温度控制器连接一所述加热源；

或者，

在所述基底上的正投影的形状相同的所述加热源连接同一所述温度控制器。

4.根据权利要求2所述的干燥箱，其特征在于，用于干燥有机电致发光器件，所述基底上的多个所述加热源分为多组，每组中的多个所述加热源垂直于所述基底的厚度方向上的截面形状分别与待干燥有机电致发光器件每个像素中的多个子像素内的待干燥图案的形状相同。

5.根据权利要求4所述的干燥箱，其特征在于，用于对发同种颜色光的子像素加热的所述加热源连接同一所述温度控制器。

6.一种干燥箱的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

控制各加热点的加热温度，以使待干燥器件中的各待干燥图案在所述干燥箱内具有相同的蒸发速率。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，还包括：

控制加热源移动，以使所述加热源向远离基底的方向移动。

8.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

在基板上形成待干燥图案；

将形成有待干燥图案的基板对位放置在权利要求1-5任一项所述的干燥箱的热板上进行干燥。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述在基板上形成待干燥图案，包括：

采用溶液制程在基板上形成待干燥的空穴注入层、待干燥的空穴传输层、待干燥的电致发光层中的任意一种。