[发明专利]干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法

说明书

本发明提供一种干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法，涉及真空干燥技术领域，可改善放入干燥箱中干燥后的有机薄膜各部分均匀性差的问题。所述干燥箱，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。

技术领域

本发明涉及真空干燥技术领域，尤其涉及干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)器件由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、高色域、高对比度、响应速度快、耗能小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为具有发展前景的下一代显示技术。

有机电致发光器件薄膜沉积方法主要有蒸镀制程和溶液制程两种：蒸镀制程适用于有机小分子，其成膜均匀好、技术相对成熟、但是设备投资大、材料利用率低、大尺寸产品Mask(掩膜板)对位精度低。溶液制程，包括旋涂、喷墨打印、喷嘴涂覆法等，适用于聚合物材料和可溶性小分子，其特点设备成本低，在大规模、大尺寸生产上优势突出。

现有技术中，采用溶液制程形成液态有机薄膜后会先进行干燥，然后在进行烘烤，而干燥过程中，当形状不同的多个待干燥图案在完全相同的干燥条件下干燥时，会出现干燥不均匀的情况。

发明内容

本发明的实施例提供一种干燥箱及其控制方法、有机电致发光器件的制备方法，可改善放入干燥箱中干燥后的有机薄膜各部分均匀性差的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供一种干燥箱，包括腔体和设置在所述腔体内的热板，所述热板包括多个加热点，所述加热点朝向所述热板的用于承载待干燥器件的表面设置；其中，多个所述加热点的温度不完全相同且相互绝热。

可选的，所述热板包括基底和设置在所述基底上的多个相互独立的加热源，所述基底为绝热材料。

可选的，多个所述加热源在所述基底上的正投影的形状不完全相同。

可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；每个所述温度控制器连接一所述加热源。

可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器；在所述基底上的正投影的形状相同的所述加热源连接同一所述温度控制器。

可选的，用于干燥有机电致发光器件，所述基底上的多个所述加热源分为多组，每组中的多个所述加热源垂直于所述基底的厚度方向上的截面形状分别与待干燥有机电致发光器件每个像素中的多个子像素内的待干燥图案的形状相同。

可选的，所述干燥箱还包括用于调整所述加热源的温度的温度控制器，用于对发同种颜色光的子像素加热的所述加热源连接同一所述温度控制器。

可选的，所述基底上设置有凹槽，所述加热源设置在所述凹槽内，所述干燥箱还包括控制结构，所述控制结构用于控制所述加热源沿所述基底的厚度方向上下移动。

可选的，所述温度控制器为设置有热电偶的电加热结构，所述电加热结构根据所述热电偶反馈的温度实时调整输出电流。

第二方面，提供一种干燥箱的控制方法，所述控制方法包括：控制各加热点的加热温度，以使待干燥器件中的各待干燥图案在所述干燥箱内具有相同的蒸发速率。

可选的，所述控制方法还包括：控制加热源移动，以使所述加热源向远离基底的方向移动。

第三方面，提供一种有机电致发光器件的制备方法，所述制备方法包括：在基板上形成待干燥图案；将形成有待干燥图案的基板对位放置在第一方面所述的干燥箱的热板上进行干燥。