[发明专利]金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法

权利要求书

1.一种金属遮罩清洁装置，其特征在于，用以设置于一承载台上方并连接一驱动机构，所述驱动机构能带动该金属遮罩清洁装置进行三维方向移动，该金属遮罩清洁装置包含：

一基座，其包含一座体及一固定组件，该座体包含一卡带装设部及一导带部，该导带部位于该卡带装设部的下方，该固定组件设置于该座体的卡带装设部，并与该座体的卡带装设部之间形成一装设区；以及

一研磨机构，其设置于该座体上，该研磨机构包含：

一研磨头，其设置于该座体的导带部并凸伸出该座体的底部；

一卡带驱动组件，其包含一卷带马达、一张力马达、一卷带凸轴、一张力凸轴以及多个导带轴杆，该卷带马达及该张力马达间隔地设置于该卡带装设部处，该卷带凸轴连接受控于该卷带马达并伸入该装设区，该张力凸轴连接受控于该张力马达并伸入该装设区，该多个导带轴杆枢设于该座体的导带部，该研磨卡带组设置于该座体的卡带装设部；以及

一研磨卡带组，其包含一外壳、二间隔设置的卷带轮及一研磨带，该二卷带轮可转动地设置于该外壳内，且该卷带凸轴与该张力凸轴分别伸入该二卷带轮，该研磨带绕过该多个导带轴杆及该研磨头的底部，且该研磨带的二端部伸入该外壳内并分别卷绕于该二卷带轮上。

2.如权利要求1所述的金属遮罩清洁装置，其特征在于，该固定组件包含一固定锁片及一固定匣，该固定锁片设置于该座体的卡带装设部的一侧边，且该固定匣枢设于该卡带装设部相对于该固定锁片的另一侧边，该固定匣能扣合于该固定锁片，并与该固定锁片及所述卡带装设部圈围形成所述装设区。

3.如权利要求1或2所述的金属遮罩清洁装置，其特征在于，该研磨头的二侧分别形成一限位槽，所述研磨带伸入该二限位槽内。

4.一种金属遮罩清洁方法，其特征在于，其使用如权利要求1至3中任一项所述的金属遮罩清洁装置来执行，该金属遮罩清洁方法包含：

将待清洁的一金属遮罩置放定位于所述承载台上；

利用影像辨视手段检测该金属遮罩表面附着的异物位置，并将每一异物位置数据传输至一控制装置；

由该控制装置依据每一所述异物位置数据执行以下步骤：

控制该驱动机构驱动该金属遮罩清洁装置移动至该金属遮罩表面附着异物的位置上方，以及驱动该金属遮罩清洁装置向下移动；以及

驱动该研磨机构研磨去除金属遮罩表面附着异物，至该金属遮罩表面附着的异物被研磨去除后，控制该驱动机构驱动该金属遮罩清洁装置上升。

5.如权利要求4所述的金属遮罩清洁方法，其特征在于，该研磨机构研磨去除金属遮罩表面附着异物的步骤中，该卡带驱动组件的卷带马达以顺向卷收顺向转动卷收该研磨带，以及该张力马达顺向转动释放该研磨带方式执行。