[发明专利]金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法

说明书

本发明是一种金属遮罩清洁装置，其用以设于承载台上方并连接驱动机构，驱动机构能带动金属遮罩清洁装置进行三维方向移动，金属遮罩清洁装置包含基座及设于基座上的研磨机构，金属遮罩清洁方法是利用影像辨视手段检测该金属遮罩表面附着的异物位置并传输至控制装置，通过控制装置依据异物位置数据使驱动机构带动金属遮罩清洁装置移动至金属遮罩表面附着异物处，并驱动该研磨机构研磨去除金属遮罩表面附着异物，金属遮罩清洁装置主要是通过以研磨的方式清除金属遮罩表面的异物，不但能有效避免金属遮罩受损的问题，同时亦能藉此提高金属遮罩的重复使用率。

技术领域

本发明是一种金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法，尤指用以清洁有机发光二极管面板蒸镀制程等所使用的金属遮罩的金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法。

背景技术

随着科技的发展，有机发光二极管(OLED)面板的技术日渐成熟，而为具有竞争力的发光及显示技术。目前有机发光二极管(OLED)主要的量产方法是藉由真空蒸镀技术方式，将有机材料在高度真空的条件下，以加热升华的方式搭配金属遮罩控制其图案，使气化的有机材料均匀地沉积在基板上。

惟所述金属遮罩在长时间的使用下，所述金属遮罩的表面易附着有异物，而会影响有机发光二极管面板的蒸镀品质，故为了确保有机发光二极管(OLED)真空蒸镀制程的品质，金属遮罩必须定期或依实际使用需求，进行金属遮罩表面的清洁作业。

现今在金属遮罩表面的清洁作业中，其主要是通过影像辨视手段检测金属遮罩表面的异物位置，再使用激光去除金属遮罩表面附着的异物。然而，由于附着于金属遮罩表面的异物的种类以及大小皆有所不同，而激光投射出有效光束面积有限，当在操作激光进行清除的过程，必须精准对位才能准确地去除金属遮罩表面的异物，且在使用激光清除异物的过程中，激光光束容易伤及所述金属遮罩的表面，使得金属遮罩受损而影响后续制程作业。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一金属遮罩清洁装置及金属遮罩清洁方法，希藉此改善现今清洁金属遮罩表面异物的方式有操作不易，以及容易使金属遮罩受损的问题。

为达成前揭目的，本发明的金属遮罩清洁装置用以设置于一承载台上方并连接一驱动机构，所述驱动机构能带动该金属遮罩清洁装置进行三维方向移动，该金属遮罩清洁装置包含：

一基座，其包含一座体及一固定组件，该座体包含一卡带装设部及一导带部，该导带部位于该卡带装设部的下方，该固定组件设置于该座体的卡带装设部，并与该座体的卡带装设部之间形成一装设区；以及

一研磨机构，其设置于该座体上，该研磨机构包含：

一研磨头，其设置于该座体的导带部并凸伸出该座体的底部；

一卡带驱动组件，其包含一卷带马达、一张力马达、一卷带凸轴、一张力凸轴以及多个导带轴杆，该卷带马达及该张力马达间隔地设置于该卡带装设部处，该卷带凸轴连接受控于该卷带马达并伸入该装设区，该张力凸轴连接受控于该张力马达并伸入该装设区，该多个导带轴杆枢设于该座体的导带部，该研磨卡带组设置于该座体的卡带装设部；以及

一研磨卡带组，其包含一外壳、二间隔设置的卷带轮及一研磨带，该二卷带轮可转动地设置于该外壳内，且该卷带凸轴与该张力凸轴分别伸入该二卷带轮，该研磨带绕过该多个导带轴杆及该研磨头的底部，且该研磨带的二端部伸入该外壳内并分别卷绕于该二卷带轮上。

另为达成前揭目的，本发明提供一种金属遮罩清洁方法，其使用前述的金属遮罩清洁装置来执行，该金属遮罩清洁方法包含：

将待清洁的一金属遮罩置放定位于所述承载台上；

利用影像辨视手段检测该金属遮罩表面附着的异物位置，并将每一异物位置数据传输至一控制装置；

由该控制装置依据每一所述异物位置数据执行以下步骤：