[发明专利]静电吸盘、衬底处理装置以及制造半导体器件的方法

权利要求书

1.一种静电吸盘，其特征在于，包括：

吸盘基座；

绝缘板，位于所述吸盘基座上；

第一加热器，包括位于所述绝缘板中的单元加热器；以及

加热器控制器，被配置成通过基于所述单元加热器的电阻与阈值之间的比较提供加热电力来控制所述单元加热器，

其中所述第一加热器还包括第一扇形电极，所述第一扇形电极设置在所述单元加热器与所述加热器控制器之间且与所述单元加热器对齐，

其中所述单元加热器为多个，且所述第一扇形电极为多个，且

其中多个所述第一扇形电极中的每一者包括：

多个电力电极，被配置成向多个所述单元加热器提供电力；以及

接地电极，被配置成将多个所述单元加热器接地且设置在所述多个电力电极之间，

其中所述多个电力电极包括：

第一外电极，位于所述接地电极的第一侧上；

第一内电极，在所述绝缘板的中心方向上位于所述第一外电极的内侧；

第二外电极，位于所述接地电极的第二侧上；以及

第二内电极，在所述绝缘板的所述中心方向上位于所述第二外电极的内侧，

其中所述接地电极设置在所述第一内电极与所述第二内电极之间以及所述第一外电极与所述第二外电极之间。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘，所述加热器控制器包括电压计，所述电压计被配置成响应于被提供到多个所述单元加热器的感测电力来检测多个所述单元加热器的第一端子与第二端子之间的电压。

3.根据权利要求2所述的静电吸盘，所述加热器控制器还包括：

第一开关，被配置成对所述加热电力进行开关；以及

第二开关，被配置成对所述感测电力进行开关，且被配置成与所述第一开关的接通操作相反地进行接通。

4.根据权利要求2所述的静电吸盘，所述加热器控制器还包括温度控制器，所述温度控制器被配置成利用由所述电压计所检测到的所述电压来获得多个所述单元加热器的所述电阻，且被配置成响应于所述电阻小于所述阈值来向多个所述单元加热器提供所述加热电力。

5.根据权利要求4所述的静电吸盘，所述温度控制器被配置成响应于所述电阻大于所述阈值来暂缓多个所述单元加热器的加热。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘，多个所述单元加热器中的每一者包括：

第一外加热器及第二外加热器，所述第一外加热器的第一侧及所述第二外加热器的第一侧分别连接到所述第一外电极的第一侧及所述第二外电极的第一侧；以及

第一内加热器及第二内加热器，所述第一内加热器的第一侧及所述第二内加热器的第一侧分别连接到所述第一内电极的第一侧及所述第二内电极的第一侧，

其中所述接地电极连接到所述第一外加热器的第二侧及所述第二外加热器的第二侧以及所述第一内加热器的第二侧及所述第二内加热器的第二侧。

7.根据权利要求1所述的静电吸盘，多个所述单元加热器设置在所述绝缘板的边缘区上，且

其中所述静电吸盘还包括：

第二加热器，包括位于所述第一加热器与所述吸盘基座之间的多个环形加热器及位于所述多个环形加热器与所述吸盘基座之间的多个第二扇形电极，所述多个环形加热器位于所述绝缘板的中心区上；以及

接地板，位于所述第二加热器与所述吸盘基座之间且连接到接地电极，所述接地板具有与所述多个第二扇形电极的直径相同的直径。