[发明专利]除静电支撑结构、基板运载设备

说明书

本发明提供了一种除静电支撑结构、基板运载设备，所述基板运载设备包括所述除静电支撑结构，所述除静电支撑结构包括喷嘴、电极部件、电极针、放电防止帽以及气管，所述除静电支撑结构用于支撑待处理基板、以及释放中和所述待处理基板与载台之间静电的正负离子，减少基板破片发生，提升产品品质；另外，基板与载台之间不再发生粘片，探针上升速度加快，使得设备生产节拍加快，提高了生产设备的产能。

技术领域

本发明涉及制造工艺设备，特别涉及一种除静电支撑结构、基板运载设备。

背景技术

工业生产中由于物品相互之间的摩擦、剥离、挤压、感应等使物体表面积存有不同性质的电荷，当此种电荷积累达到一定程度时，就会产生静电吸附和放电现象。而这种静电吸附和放电现象会对LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)产品造成很大的影响和破坏，比如物体的粘附、排斥、静电击穿等，均可能影响LCD产品良率，并造成一定经济损失。

为了降低静电引起的不良率，在LCD生产中，主要的解决方案是导入了除静电探针；其中，除静电探针中的离子发生器由高压电源产生器和放电极(一般做成离子针)组成，通过尖端高压电晕放电把空气电离为大量正负离子，然后用CDA(Clean Dry Air，洁净干燥的压缩空气)把大量正负离子吹到物体表面以中和静电。

目前，行业应用的主要为棒型除静电探针，安装在设备设备出入口或设备顶部，用于消除基板整面的静电，成效显著；但当基板与生产设备基板载台表面剥离时，也会产生静电，造成基板背面因静电与载台粘片，导致破片频繁发生，影响基板的产能。

发明内容

本发明提供了一种除静电支撑结构、基板运载设备，以消除现有基板与基板载台之间的静电。

为实现上述方案，本发明提供的技术方案如下：

本发明提出了一种用于承载基板的除静电支撑结构，其中，所述除静电支撑结构包括用于释放离子的喷嘴和用于产生所述离子的电极部件；

所述喷嘴位于所述除静电支撑结构的一端，所述喷嘴与所述电极部件连接；

所述除静电支撑结构用于支撑待处理基板、以及释放中和所述待处理基板与载台之间静电的正负离子。

根据本发明一优选实施例，所述喷嘴包括至少一个出风口，所述出风口用于释放所述除静电支撑结构所产生的所述正负离子。

根据本发明一优选实施例，所述除静电支撑结构还包括电极针，所述电极部件和所述电极针用于产生所述待处理基板所需的所述正负离子。

根据本发明一优选实施例，还包括用于防止所述电极部件极化的放电防止帽。

根据本发明一优选实施例，所述除静电支撑结构还包括气管，

所述气管用于输送压缩空气，所述压缩空气用于将所述电极部件和所示电极针产生的所述正负离子输送至所述喷嘴。

根据本发明一优选实施例，所述气管包括第一气管和第二气管，所述第一气管设置于所述电极部件和所述电极针的内部；

所述第一气管的一端固定于与所述电极部件的出口处，所述第一气管的另一端与所述第二气管连接；

所述第二气管的一端与所述第一气管连接，所述第二气管的另一端与压缩空气源连接，所述第二气管被铝制金属所包裹。

根据本发明一优选实施例，所述气管为全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物制成。

根据本发明一优选实施例，所述除静电支撑结构还包括AC适配器和延伸电缆。

本发明还提出了一种包括上述除静电支撑结构的基板运载设备，其中，所述基板运载设备包括第一支撑台、第二支撑台以及除静电支撑结构；