[发明专利]一种具有三明治夹心结构敏感薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种具有三明治夹心结构乙醇敏感薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将氯化钴溶解于无水乙醇中，滴加钛酸异丁酯，磁力搅拌均匀，用冰醋酸调节pH值为4.0，得到混合溶液，将所得混合溶液中Co²⁺浓度为0.1mol/L，Ti⁴⁺浓度为0.1mol/L,混合溶液在40℃水浴中反应60min，得到CoTiO₃前驱体溶液A；

2）将氧化石墨烯均匀分散在无水乙醇中，100W超声波预处理10min，得到氧化石墨烯的乙醇悬浮液B，其中，氧化石墨烯在乙醇中的浓度为1 mg/mL；

3）采用浸渍-提拉法在清洁的Si基片表面镀膜，先将Si基片浸渍于CoTiO₃前驱体溶液A中，浸渍时间1min，然后匀速提拉，控制提拉速率为1mm/s，随后薄膜在烘箱中干燥，控制干燥温度为40℃，干燥时间10min；根据膜层厚度的需要，反复浸渍-提拉镀膜，膜层为5层，获得CoTiO₃前驱体薄膜C；

4）将薄膜C浸渍在氧化石墨烯的乙醇悬浮液B中，浸渍时间1min，然后匀速提拉，控制提拉速率为0.5mm/s，随后薄膜在烘箱中干燥，控制干燥温度为30℃，干燥时间10min；反复浸渍-提拉镀膜，膜层为2层，获得CoTiO₃前驱体/GO薄膜D；

5）将薄膜D再次浸渍在CoTiO₃前驱体溶液A中，浸渍时间为1min，然后匀速提拉，控制提拉速率为1mm/s，随后薄膜在烘箱中干燥，控制干燥温度为40℃，干燥时间10min；反复浸渍-提拉镀膜，膜层为5层，获得CoTiO₃前驱体/GO/CoTiO₃前驱体薄膜E；

6）将薄膜E至于管式炉中，Ar气氛下700℃高温热还原反应2h，得到三明治结构的CoTiO₃/rGO/CoTiO₃敏感薄膜。