[发明专利]一种半导体钝化封装用玻璃粉及其制备方法在审
申请号: | 201810630800.X | 申请日: | 2018-06-19 |
公开(公告)号: | CN108863089A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 张其峰 | 申请(专利权)人: | 张其峰 |
主分类号: | C03C12/00 | 分类号: | C03C12/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃粉 半导体钝化封装 制备 有效节约成本 半导体器件 断裂韧性 冷热 光照 细菌 抵抗 风雨 | ||
1.一种半导体钝化封装用玻璃粉,其特征在于:按质量百分含量,由以下组分组成:
SiO2:30~60%,Al2O3:3~10%,B2O3:5~15%,PbO:28~55%,Bi2O3:0~10%,ZnO:0~20%,CeO2:0~2%,Sb2O3:0~2%,PbF2:0~3%,V2O5:0~5%,ZrO2:0~0.5%,TiO2:0~5%。
2.根据权利要求1所述的一种半导体钝化封装用玻璃粉,其特征在于:所述玻璃粉的热膨胀系数为41~45*10-7℃-1,表面电荷密度为+6~+7*1011/cm2。
3.根据权利要求1所述的一种半导体钝化封装用玻璃粉,其特征在于:所述玻璃粉的膨胀软化点温度为625~645℃,软化点温度为715~735℃,流动温度点温度为770~790℃。
4.根据权利要求1所述的一种半导体钝化封装用玻璃粉,其特征在于:所述玻璃粉的玻璃化转变温度为585~605℃,烧结温度为640~660℃。
5.根据权利要求1~4任一项所述的一种半导体钝化封装用玻璃粉的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)按质量百分含量计算玻璃粉配方中各组分的质量,称量后充分混合均匀,得到玻璃粉配方组分的混合料;
2)将步骤1)得到的混合料加入到铂金坩埚或氧化铝内,通过高温电阻炉加热,在1250~1280℃下熔炼成均匀的玻璃液;
3)通过耐热不锈钢水冷连续式辊轧机将步骤2)得到的玻璃液轧成0.5mm厚的碎薄玻璃片;
4)将步骤3)得到的碎薄玻璃片加入到刚玉罐球磨机中进行粉碎操作,通过300目标准筛后,制得本发明所述的玻璃粉。
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