[发明专利]蒸发辅助装置和干燥设备在审
| 申请号： | 201810634840.1 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN108759360A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王欣竹;吴新风;胡友元;李菲;李慧慧;栾梦雨 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;F26B23/04;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 顶壁 待干燥 辅助装置 通气区 罩板 蒸发 干燥设备 通气孔 侧壁 基板 膜层 边缘分布 干燥工艺 相对设置 逐渐减小 溶剂 挥发 环绕 开口 均衡 支撑 | ||
1.一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，其特征在于，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；
所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的蒸发辅助装置，其特征在于，从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的分布密度逐渐减小。
3.根据权利要求1所述的蒸发辅助装置，其特征在于，从所述顶壁的中部至所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口大小逐渐减小。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述通气孔的形状为圆柱形或棱柱形。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述蒸发辅助装置还包括与所述通气孔连通的抽气机构，所述抽气机构设置在所述罩板顶壁的用于背离所述待干燥基板的一侧。
6.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述蒸发辅助装置还包括用于加热所述罩板的加热机构。
7.根据权利要求6所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述罩板采用导电材料制成，所述加热机构包括电源，所述罩板的两端分别与所述电源的正、负极相连。
8.根据权利要求7所述的蒸发辅助装置，其特征在于，制成所述罩板的材料包括殷钢。
9.根据权利要求1至3中任意一项所述的蒸发辅助装置，其特征在于，所述罩板的侧壁的高度可调。
10.一种干燥设备，其特征在于，包括承载台和权利要求1至9中任意一项所述的蒸发辅助装置，所述承载台用于承载待干燥基板。
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