[发明专利]蒸发辅助装置和干燥设备

说明书

本发明提供一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。相应地，本发明还提供一种干燥设备。本发明能够均衡整个待干燥区中溶剂的挥发速度，从而使得待干燥区不同位置干燥后形成的膜层厚度更均匀。

技术领域

本发明涉及有机电致发光显示器件的制作领域，具体涉及一种蒸发辅助装置和干燥设备。

背景技术

有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)的成膜方式主要有蒸镀制程和溶液制程。溶液制程中的喷墨打印技术由于其材料利用率较高、可以实现大尺寸化，被认为是大尺寸有机电致发光器件实现量产的重要方式。

喷墨打印的工艺过程包括喷墨印刷和干燥，喷墨印刷过程是将墨水(即，用于形成膜层的材料溶解在溶剂中形成的溶液)打印在基板上，干燥过程则是使溶剂蒸发后形成膜层。由于在干燥过程中，越靠近基板边缘的区域，溶剂挥发的速度越快，因此，靠近基板中心的区域和靠近基板边缘的区域的溶剂蒸发速度不同，导致基板中间区域和靠近基板边缘的区域所形成的膜层厚度不均，从而影响有机电致发光显示装置的显示效果。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸发辅助装置和干燥设备，以均衡整个待干燥区中溶剂的挥发速度，从而使得待干燥区不同位置干燥后形成的膜层厚度更均匀。

为了实现上述目的，本发明提供一种蒸发辅助装置，用于膜层干燥工艺中，所述蒸发辅助装置包括罩板，所述罩板包括顶壁和与该顶壁相连的侧壁，所述顶壁用于与待干燥基板的待干燥区相对设置，所述侧壁用于支撑在所述待干燥基板并环绕所述待干燥区；所述顶壁上设置有多个通气孔；

所述罩板的顶壁被划分为从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘分布的多个通气区；从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口面积之和与所述通气区的面积之比逐渐减小。

优选地，从所述顶壁的中部到所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的分布密度逐渐减小。

优选地，从所述顶壁的中部至所述顶壁的边缘，所述通气区中通气孔的开口大小逐渐减小。

优选地，所述通气孔的形状为圆柱形或棱柱形。

优选地，所述蒸发辅助装置还包括与所述通气孔连通的抽气机构，所述抽气机构设置在所述罩板顶壁的用于背离所述待干燥基板的一侧。

优选地，所述蒸发辅助装置还包括用于加热所述罩板的加热机构。

优选地，所述罩板采用导电材料制成，所述加热机构包括电源，所述罩板的两端分别与所述电源的正、负极相连。

优选地，制成所述罩板的材料包括殷钢。

优选地，所述罩板的侧壁的高度可调。

相应地，本发明还提供一种干燥设备，包括承载台和本发明提供的上述蒸发辅助装置，所述承载台用于承载待干燥基板。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明实施例一提供的蒸发辅助装置的应用示意图；

图2是沿图1中AA线的剖视图；

图3是本发明实施例一提供的蒸发辅助装置中的罩板的俯视图之一；