[发明专利]一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

A.配料

采用氧化锆和氧化钇（稳定剂）粉料为原料，其重量份配比：300目氧化锆100份，1400目氧化锆90～110份，稳定剂30～50份，所述稳定剂为氧化钇或氧化鈰，或者，采用复合稳定剂，并将上述原料混合均匀，获得混合氧化物；

B.添加粘合剂

在混合氧化物中，加入粘合剂，其重量份数配比为：混合氧化物100份，粘合剂0.5份～5份，加水适量，调和均匀，获得粘合配料；

C.烘燥

将前道获得的粘合配料在烘箱中烘燥，烘干水分，烘燥温度90℃～110℃温度，获得干燥配料；

D.压制

将前道获得的干燥配料置于合金模具中，压制成形，获得烧结前驱物；

E.烧结

把上述烧结前驱物，装入容器，置于真空烧结炉中烧结，真空度为0.01帕～0.0001帕，烧结温度为1600℃～2000℃，保温2小时～6小时，然后自然冷却降温至室温，获得成品。

2.根据权利要求1所述的一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法，其特征在于，所述烧结前驱物在置于真空烧结炉中烧结前，进行预烧，预烧温度为800℃～1000℃。

3.根据权利要求1所述的一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法，其特征在于，所述复合稳定剂为氧化钇添加适量氧化鈰，所述氧化鈰为氧化钇重量1～10%。

4.根据权利要求1所述的一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法，其特征在于，所述复合稳定剂为氧化鈰添加适量氧化钇，所述氧化钇为氧化鈰重量1～8%。

5.根据权利要求1所述的一种稳定氧化锆镀膜靶材及其制备方法，其特征在于，所述粘合剂为聚乙烯醇或羧甲基纤维素。