[发明专利]管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴

权利要求书

1.一种用于将管嘴末端(14)安装到基板处理装置的管嘴末端适配器，所述管嘴末端适配器包括抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)，其中，所述抽吸管道(34)和所述供给管道(36)设置在所述基部本体(16)中，

所述基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳所述管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到所述管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，

其中，所述基部本体(16)和所述突出部分(30)相互不可移动地固定，

其中，所述抽吸管道(34)延伸穿过所述突出部分(30)，并且所述供给管道(36)通向所述管嘴末端凹入部(26)，

其中，所述抽吸管道(34)至少部分地被所述供给管道(36)环绕。

2.根据权利要求1所述的管嘴末端适配器，其特征在于，所述抽吸管道(34)延伸穿过所述突出部分(30)的轴向长度，并且在所述突出部分(30)的下游端部处开口。

3.根据权利要求1所述的管嘴末端适配器，其特征在于，所述突出部分(30)沿所述基部本体的轴向方向延伸穿过管嘴末端凹入部(26)，并且以其下游端部从所述管嘴末端凹入部(26)突出。

4.根据权利要求1所述的管嘴末端适配器，其特征在于，所述基部本体(16)包括在所述装置端部(18)处的用于将所述管嘴末端适配器(12)固定到所述基板处理装置的装置突部(24)。

5.根据权利要求4所述的管嘴末端适配器，其特征在于，所述管嘴末端凹入部(26)和所述装置突部(24)具有相同的尺寸和互补形状。

6.根据前述权利要求中任一项所述的管嘴末端适配器，其特征在于，所述管嘴末端适配器(12)在所述基部本体(16)的外周表面(22)或装置端部(18)处具有抽吸端口(32)，并且所述抽吸管道(34)源自所述抽吸端口(32)，以及在所述外周表面(22)处或在所述装置端部(18)处具有供给端口(29)，并且所述供给管道(36)源自所述供给端口(29)。

7.一种用于基板处理装置的管嘴组件，包括根据前述权利要求中任一项所述的管嘴末端适配器(12)和管嘴末端(14)，

所述管嘴末端(14)包括：

管嘴本体(44)，其具有连接端部(46)和排放端部(48)；

紧固突部(50)，其设置在所述连接端部(46)处；

液体腔室(52)，其朝向所述连接端部(46)开口，并且至少延伸到所述紧固突部(50)中；以及

出口(54)，其在所述排放端部(48)处具有孔口(56)，并且流体地连接至所述液体腔室(52)，

其中，所述管嘴末端(14)的紧固突部(50)容纳在所述管嘴末端适配器(12)的管嘴末端凹入部(26)中，所述管嘴末端适配器(12)的突出部分(30)延伸到所述管嘴末端(14)的液体腔室(52)中。

8.根据权利要求7所述的管嘴组件，其特征在于，所述管嘴末端适配器(12)的供给管道(36)在所述液体腔室(52)的上游端部处通向所述液体腔室(52)，和/或所述管嘴末端适配器(12)的抽吸管道(34)在所述突出部分(30)的下游端部处通向所述液体腔室(52)。

9.根据权利要求7所述的管嘴组件，其特征在于，所述出口(54)具有直径(d)，所述突出部分(30)的下游端部与所述孔口(56)之间的距离(a)至少是所述出口(54)的直径(d)的0.5倍。

10.根据权利要求7所述的管嘴组件，其特征在于，所述出口(54)和所述突出部分(30)中的抽吸管道(34)同轴。