[发明专利]管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴

说明书

本发明提供了管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴。管嘴末端适配器(12)具有抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)。基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中抽吸管道(34)延伸穿过突出部分(30)，并且供给管道(36)通向管嘴末端凹入部(26)，其中抽吸管道(34)至少部分地被供给管道(36)围绕。此外，示出了管嘴组件(10)和管嘴(60)。

技术领域

本发明涉及用于将管嘴末端安装到基板处理装置的管嘴末端适配器、用于基板处理装置的管嘴组件以及用于将液体供给到基板的管嘴。

背景技术

在用于纳米加工和微细加工的已知基板处理装置中，必须将液体分配到基板上。基板可以是晶圆等。流体可以是显影剂、水、溶剂或任何水溶液，并且经由管嘴供给到基板。通常，液体在规定的分配周期内分配，以便分配预定量的液体。然而，在分配周期结束时，剩余的液体残留在管嘴中并且可能以不受控方式滴落到基板上。

在现有技术的基板处理装置中，已知的是，通过反转液体的流动以从管嘴收回多余液体来防止管嘴在分配周期之后滴落。

然而，由于液体中的气泡等，用这种方法不能完全防止滴落。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种可靠地防止液体在分配之后滴落的用于基板处理装置的管嘴末端适配器、管嘴组件和管嘴。

为此目的，提供了一种用于将管嘴末端安装到基板处理装置的管嘴末端适配器，其包括抽吸管道、供给管道以及具有装置端部和基板端部的基部本体，其中抽吸管道和供给管道设置在基部本体中。基部本体具有在其基板端部处的用于容纳管嘴末端的管嘴末端凹入部以及延伸到管嘴末端凹入部中的突出部分，其中，抽吸管道延伸穿过突出部分，并且供给管道通向管嘴末端凹入部，其中，抽吸管道至少部分地被供给管道环绕。

基板可以是未涂覆的基板(如晶圆)或涂覆的基板。例如，液体是显影剂、溶剂、水或水溶液。此外，基板处理装置可以是用于纳米加工和/或微细加工的装置。

在本发明的上下文中，“下游”是指液体的总体流动方向，即从装置端部朝向基板端部或朝向基板本身。管嘴末端适配器的轴向方向也沿下游方向延伸。

基板端部和装置端部可以彼此相对。

例如，突出部分具有针形状或者形成中空针。此外，管嘴末端凹入部可以是带螺纹的，用于容纳管嘴末端。

此外，抽吸管道和突出部分的直径可以在0.7mm与4.0mm之间。

通过提供两个不同的管道，管嘴末端适配器的管道之一可以用来将液体供给到管嘴，而另一个管道可以用来在液体分配周期之后将多余液体转移远离管嘴末端的孔口。突出部分允许两个管道在非常靠近管嘴的孔口处汇合，使得在孔口与管道汇合的位置之间的所有液体可以转移远离管嘴。因此，实现了非常可靠的防滴落。

基部本体和突出部分相互不可移动地固定。具体地，基部本体和突出部分形成为单个构件。这简化了管嘴末端适配器的操作。

例如，抽吸管道延伸穿过突出部分的轴向长度，并且在突出部分的下游端部处开口。这样，抽吸管道和供给管道尽可能远地在下游汇合。

为了使突出部分尽可能远地到达管嘴末端，突出部分可以沿基部本体的轴向方向延伸穿过管嘴末端凹入部，并且可以以其下游端部从管嘴末端凹入部突出。在这种情况下，突出部分的下游端部是管嘴末端适配器的最下游部分。

在本发明的实施例中，基部本体包括在装置端部处的用于将管嘴末端适配器固定到基板处理装置的装置突部。装置突部可以是带螺纹的。通过这种方式，管嘴末端适配器可以容易地安装在管嘴末端与基板处理装置之间。