[发明专利]一种电池片除膜方法及系统在审
申请号: | 201810638578.8 | 申请日: | 2018-06-20 |
公开(公告)号: | CN108747032A | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 黄同阳;李亮生 | 申请(专利权)人: | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/08;B23K26/70;H01L31/18 |
代理公司: | 北京天驰君泰律师事务所 11592 | 代理人: | 孟锐 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电池片 激光装置 工件承载台 膜层 激光光束 连续扫描 旋转机构 除膜 刻蚀 加工 太阳能电池技术 发送控制指令 光电转换效率 电池表面 控制装置 面刻 转动 损伤 | ||
1.一种电池片除膜方法,其特征在于,包括:
设定激光装置参数;和
启动所述激光装置发出激光光束,逐面连续扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层。
2.根据权利要求1所述的电池片除膜方法,其特征在于,当所述电池片两个相邻主待加工面之间具有倒角待加工面时,所述逐面连续扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层的步骤包括:
依次扫描刻蚀主待加工面;和
依次扫描刻蚀倒角待加工面。
3.根据权利要求1所述的电池片除膜方法,其特征在于,所述激光装置发出的激光为波长为355-532nm、功率为1W-10W的激光。
4.根据权利要求1所述的电池片除膜方法,其特征在于,当所述激光装置发出的激光光束形成的光斑小于所述电池片的待加工面时,所述逐面连续扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层的步骤包括:
当所述激光装置包括扫描振镜时,驱动所述扫描振镜偏转,用以连续刻蚀所述电池片一个待加工面的衍生膜层;
或者,驱动所述激光装置移动,用以连续刻蚀所述电池片一个待加工面的衍生膜层;
或者,驱动放置电池片的工件承载台移动,用以连续刻蚀所述电池片一个待加工面的衍生镀膜。
5.根据权利要求1所述的电池片除膜方法,其特征在于,连续刻蚀所述电池片一个待加工面的衍生膜层时,相邻两个激光光斑重叠的面积占一个激光光斑面积的10%-60%。
6.根据权利要求1-5任一所述的电池片除膜方法,其特征在于,在所述电池片置于水平面时,当里侧区域高度大于边缘区域高度时,在定位电池片步骤之后还包括:采用刻蚀保护装置将刻蚀区域限制在待加工面。
7.根据权利要求1-5任一所述的电池片除膜方法,其特征在于,在所述电池片置于水平面时,当里侧区域高度大于边缘区域高度时,在定位电池片步骤之后还包括:调整所述激光装置的倾斜角度,将刻蚀区域限制在待加工面。
8.根据权利要求1-5任一所述的电池片除膜方法,其特征在于,在所述电池片置于水平面时,当里侧区域高度大于边缘区域高度时,所述定位电池片的步骤包括:
还包括凹面承载台和吸附装置,由所述凹面承载台承载所述电池片,通过吸附装置吸附所述电池片,使电池片边缘区域的高度大于电池片里侧区域高度,将刻蚀区域限制在待加工面。
9.一种电池片除膜系统,其特征在于,包括:
工件承载台,用于放置电池片;
旋转机构,与所述工件承载台相连接,用于带动所述工件承载台转动;
激光装置,用于按照设定参数发出激光光束,逐面连续扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层;和
控制装置,用于向所述旋转机构和所述激光装置发送控制指令。
10.根据权利要求9所述的电池片除膜系统,其特征在于,所述激光装置还包括激光器和激光器移动机构,所述激光器移动机构与所述激光器相连接;所述激光器移动机构根据接收到的来自于所述控制装置的控制指令,移动所述激光器,用于扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层。
11.根据权利要求9所述的电池片除膜系统,其特征在于,还包括激光载台和激光载台移动机构,所述激光载台移动机构与所述激光载台相连接,所述激光载台承载所述激光装置;所述激光载台移动机构根据接收到的来自于所述控制装置的控制指令,移动所述激光载台,所述激光载台带动所述激光装置移动,用于扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层。
12.根据权利要求9所述的电池片除膜系统,其特征在于,所述激光装置包括激光器和扫描振镜,所述扫描振镜与所述激光器光学连接;所述扫描振镜根据接收到的来自于所述控制装置的控制指令偏转,用于扫描刻蚀所述电池片待加工面的衍生膜层。
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