[发明专利]镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

权利要求书

1.一种镀膜腔室清洗装置，其特征在于，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器；

所述转动驱动装置、所述水平驱动装置、所述旋转平台、所述反射镜和所述激光发射器均设置于有机镀膜腔室内，且所述激光发射器和所述转动驱动装置均与有机镀膜腔室的底部连接；

所述旋转平台设置于所述激光发射器的上方，所述水平驱动装置与所述旋转平台远离所述激光发射器的一端连接，所述水平驱动装置与所述反射镜传动连接，所述激光发射器发射的激光穿过所述旋转平台照射到所述反射镜上，所述反射镜用于将所述激光发射器发射的激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，以清洁有机镀膜腔室内壁，所述水平驱动装置用于带动所述反射镜相对于所述旋转平台移动，以改变所述反射镜反射激光的方向；

所述转动驱动装置与所述旋转平台传动连接，所述转动驱动装置用于带动所述旋转平台转动，以改变所述反射镜反射激光的方向。

2.根据权利要求1所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述旋转平台上设置有透光部；

所述激光发射器发射的激光穿过所述透光部照射到所述反射镜上。

3.根据权利要求2所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述透光部设置为通孔。

4.根据权利要求1所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述转动驱动装置包括电机和传动部；

所述电机与有机镀膜腔室的底部连接，所述电机远离所述有机镀膜腔室的底部的一端设置有驱动轴，所述传动部与所述驱动轴连接，且所述电机通过所述传动部与所述旋转平台传动连接，以使所述电机带动所述旋转平台转动。

5.根据权利要求4所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述传动部设置为齿轮；

所述齿轮与所述电机的驱动轴连接，所述旋转平台外圆周方向设置有卡齿，所述齿轮与所述卡齿啮合，以使所述电机通过所述齿轮转动带动所述旋转平台转动。

6.根据权利要求5所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述旋转平台的截面形状为圆环形。

7.根据权利要求1所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，还包括控制装置；

所述控制装置分别与所述转动驱动装置和所述水平驱动装置电连接，所述控制装置用于控制所述转动驱动装置和所述水平驱动装置的开启或关闭。

8.根据权利要求7所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，所述控制装置设置为微处理单元。

9.根据权利要求1-8任一项所述的镀膜腔室清洗装置，其特征在于，还包括挡板；

所述挡板设置于有机镀膜腔室的底部，且所述挡板围成容置腔，所述转动驱动装置和所述激光发射器均设置于所述容置腔内。

10.一种镀膜腔室清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过控制装置设置水平驱动装置和转动驱动装置的工作程序；

同时控制激光发射器、水平驱动装置和转动驱动装置开启，以清洗有机镀膜腔室内壁。