[发明专利]镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法

说明书

本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。

技术领域

本发明涉及有机镀膜技术领域，尤其是涉及一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法。

背景技术

有机镀膜可以应用于高真空下的OLED器件制备、高分子薄膜密封等诸多工业领域。

在使用过程中会有大量有机材料不断的沉积在有机镀膜腔室侧壁上，如果沉积物在热和应力作用下发生崩裂和脱落则会产生大量颗粒和污染物，引起工艺中断并形成大量产品缺陷，损失巨大。

但是，传统清洗有机镀膜腔室内壁需要拆装、清洗、喷砂、热处理、重新抽真空、调校等大量工作，费工费时，严重影响生产进度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，以缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题。

本发明提供的镀膜腔室清洗装置，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器；

转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器均设置于有机镀膜腔室内，且激光发射器和转动驱动装置均与有机镀膜腔室的底部连接；

旋转平台设置于激光发射器的上方，水平驱动装置与旋转平台远离激光发射器的一端连接，水平驱动装置与反射镜传动连接，激光发射器发射的激光穿过旋转平台照射到反射镜上，反射镜用于将激光发射器发射的激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，以清洁有机镀膜腔室内壁，水平驱动装置用于带动反射镜相对于旋转平台移动，以改变反射镜反射激光的方向；

转动驱动装置与旋转平台传动连接，转动驱动装置用于带动旋转平台转动，以改变反射镜反射激光的方向。

进一步的，旋转平台上设置有透光部；

激光发射器发射的激光穿过透光部照射到反射镜上。

进一步的，透光部设置为通孔。

进一步的，转动驱动装置包括电机和传动部；

电机与有机镀膜腔室的底部连接，电机远离有机镀膜腔室的底部的一端设置有驱动轴，传动部与驱动轴连接，且电机通过传动部与旋转平台传动连接，以使电机带动旋转平台转动。

进一步的，传动部设置为齿轮；

齿轮与电机的驱动轴连接，旋转平台外圆周方向设置有卡齿，齿轮与卡齿啮合，以使电机通过齿轮转动带动旋转平台转动。

进一步的，旋转平台的截面形状为圆环形。

进一步的，还包括控制装置；

控制装置分别与转动驱动装置和水平驱动装置电连接，控制装置用于控制转动驱动装置和水平驱动装置的开启或关闭。

进一步的，控制装置设置为微处理单元。

进一步的，还包括挡板；

挡板设置于有机镀膜腔室的底部，且挡板围成容置腔，转动驱动装置和激光发射器均设置于容置腔内。

本发明提供的镀膜腔室清洗方法，包括以下步骤：