[发明专利]一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法

权利要求书

1.一种脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)将ITO粉体、分散剂和水混合，进行球磨，再加入粘结剂，进行超声和真空脱泡，得到浆料；

2)将浆料注入模具，进行成型，得到靶坯，脱模，对靶坯进行干燥；

3)将靶坯放在脱脂-烧结一体式炉内的承烧板上，进行致密化，具体操作为：

a)以0.15～0.5℃/min的速率从室温升到100～200℃，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；

b)以0.2～0.4℃/min的速率升到350～400℃，保温2～4h，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；

c)以1～3℃/min的速率升到500～700℃，保温1～3h，同时通入流量为100～300L/min的干燥空气；

d)以2～3℃/min的速率升到900～1100℃，保温1～2h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

e)以1～3℃/min的速率升到1180～1400℃，保温1～2h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

f)以1.5～2.5℃/min的速率升到1400～1500℃，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

g)以6～8℃/min的速率升到1500～1700℃，保温4～20h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

h)以1～2℃/min的速率降到1300～1500℃，保温1～3h，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

i)以0.5～3℃/min的速率降到1100～1300℃，同时通入流量为300～800L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

j)以0.3～0.5℃/min的速率降到900～1100℃，保温1～2h，同时通入流量为0～300L/min的氧气，炉内氧气压力为常压；

k)以0.1～0.5℃/min的速率降到室温，得到ITO靶材；

步骤3)所述脱脂-烧结一体式炉底部侧边设置有通气孔，顶部设置有排气孔；

步骤3)所述承烧板上设置有用于释放热胀冷缩过程中应力的缝隙。

2.根据权利要求1所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤1)所述分散剂的添加量为ITO粉体质量的0.1％～2.2％；步骤1)所述水的添加量为ITO粉体质量的30％～45％；步骤1)所述粘结剂的添加量为ITO粉体质量的0.1％～2.1％。

3.根据权利要求1或2所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤1)所述ITO粉体的粒径为20～300nm。

4.根据权利要求1或2所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤1)所述分散剂为聚羧酸类分散剂、聚丙烯酸类分散剂中的至少一种。

5.根据权利要求1或2所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤1)所述粘结剂为丙烯酸树脂、聚乙烯醇中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤2)所述模具为石膏模具、树脂模具中的一种。

7.根据权利要求1或6所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤2)所述成型的具体操作为：将浆料注入模具，控制注浆压力为0.1～0.3MPa，保压3～5h。

8.根据权利要求1或6所述的脱脂-烧结一体式生产ITO靶材的方法，其特征在于：步骤2)所述干燥的温度为20～80℃，干燥时间为10～48h。