[发明专利]一种高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法在审
| 申请号： | 201810653336.6 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108530055A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 余永强;马立云;那嘉;周传水;向光;王友乐;张玲莉;柯尚文;李隽;康明锋;范家伟;董永亮 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烧结 垫片 承烧板 靶材 瓷球 摆放 烧结炉 透氧率 底面 磨削 成型 打磨 消耗 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤如下：
1)将ITO粉末成型，得到ITO靶坯，再对ITO靶坯进行干燥；
2)将垫片放置在承烧板上，再在垫片上放置一层直径0.5～1mm的瓷球，再将ITO靶坯放置在瓷球上；
3)将步骤2)设置好ITO靶坯的承烧板放进烧结炉进行烧结，再进行表面打磨，得到ITO靶材。
2.根据权利要求1所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤1)所述干燥的温度为100～500℃，干燥时间为50～100h。
3.根据权利要求1所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤2)所述瓷球为耐1800℃以上高温的瓷球。
4.根据权利要求3所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤2)所述瓷球为氧化锆球。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤2)所述瓷球均匀分布在垫片上。
6.根据权利要求1～4中任意一项所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：步骤2)所述垫片的材质为刚玉-莫来石、硅酸钙中的一种。
7.根据权利要求1～4中任意一项所述的高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法，其特征在于：
步骤3)所述烧结的温度为1000～1700℃，烧结时间为20～40h。
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