[发明专利]高可靠性的温度传感器在审

专利信息
申请号: 201810658515.9 申请日: 2018-06-25
公开(公告)号: CN108801492A 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 毛静 申请(专利权)人: 江苏林大智能科技应用研究院有限公司
主分类号: G01K7/22 分类号: G01K7/22;H01C7/02;H01C7/04
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 韩飞
地址: 223700 江苏省宿*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 重量份 温度传感器 绝缘性薄膜 薄膜热敏电阻 热敏电阻材料 高可靠性 耐热性 高耐热性 热敏材料 电极 氧化锰 改进
【权利要求书】:

1.一种高可靠性的温度传感器,其特征在于,包括:

绝缘性薄膜;

薄膜热敏电阻部,以热敏电阻材料形成于所述绝缘性薄膜的表面;

一对电极,形成于所述绝缘性薄膜上且连接于所述薄膜热敏电阻部;

其中,热敏电阻材料由以下重量份的材料组成:

2.如权利要求1所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述热敏电阻材料还包括2~4重量份Ti4SiC3

3.如权利要求2所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述热敏电阻材料还包括1~3重量份Cu-Ti3AlC2

4.如权利要求3所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述热敏电阻材料还包括1~3重量份氧化钨。

5.如权利要求4所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述热敏电阻材料还包括1~3重量份氧化钴。

6.如权利要求5所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述热敏电阻材料还包括1~3重量份氧化锌。

7.如权利要求6所述的高可靠性的温度传感器,其特征在于,所述Ta3AlC2、V3AlC2、氧化锰、铂、Ti4SiC3、Cu-Ti3AlC2、氧化钨、氧化钴和氧化锌的粒径为30~50nm。

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