[发明专利]高可靠性的温度传感器

说明书

本案涉及一种高可靠性的温度传感器，包括：绝缘性薄膜；薄膜热敏电阻部，以热敏电阻材料形成于绝缘性薄膜的表面；一对电极，形成于绝缘性薄膜上且连接于薄膜热敏电阻部；热敏电阻材料由以下重量份的材料组成：Ta₃AlC₂50重量份；V₃AlC₂20～22重量份；氧化锰12～14重量份；铂3～5重量份。本发明通过在对温度传感器的热敏材料进行改进，其具有良好的B常数和耐热性，本发明的温度传感器弯曲强度高，不易产生裂纹，具有高耐热性和可靠性。

技术领域

本发明涉及温度传感器元件，尤其涉及一种高可靠性的温度传感器。

背景技术

作为信息设备、通信设备、医用设备、住宅设备仪器、汽车用传输设备等的温度传感器(也包括流量传感器)，存在包括具有较大的负的温度系数的氧化物半导体的烧结体的热敏电阻。现有的热敏电阻在高温环境下的电阻特性的变化较大，耐热性较低，可靠性差。

发明内容

针对现有技术中存在的技术问题，本案提供一种温度传感器，其具有优异的耐热性和高可靠性。

为实现上述目的，本案通过以下技术方案实现：

一种高可靠性的温度传感器，其中，包括：

绝缘性薄膜；

薄膜热敏电阻部，以热敏电阻材料形成于所述绝缘性薄膜的表面；

一对电极，形成于所述绝缘性薄膜上且连接于所述薄膜热敏电阻部；

其中，热敏电阻材料由以下重量份的材料组成：

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述热敏电阻材料还包括2～4重量份Ti₄SiC₃。

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述热敏电阻材料还包括1～3重量份Cu-Ti₃AlC₂。

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述热敏电阻材料还包括1～3重量份氧化钨。

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述热敏电阻材料还包括1～3重量份氧化钴。

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述热敏电阻材料还包括1～3重量份氧化锌。

优选的是，所述的高可靠性的温度传感器，其中，所述Ta₃AlC₂、V₃AlC₂、氧化锰、铂、Ti₄SiC₃、Cu-Ti₃AlC₂、氧化钨、氧化钴和氧化锌的粒径为30～50nm。

本发明的有益效果是：

(1)本发明通过在对温度传感器的热敏材料进行改进，使其具有良好的B常数和耐热性，本发明的温度传感器弯曲强度高，不易产生裂纹，具有高耐热性和可靠性。

(2)Ta₃AlC₂作为热敏电阻材料的主体，其具有常数B值高的优点；通过加入V₃AlC₂提高热敏电阻材料的热稳定性；通过加入氧化锰提高其耐腐蚀性能；通过加入铂提高热敏电阻材料的弯曲强度；Ti₄SiC₃和Cu-Ti₃AlC₂协同提高热敏电阻材料的抗冲击强度和硬度；通过加入氧化钨提高其热稳定性能和耐高温性能；通过加入氧化钴提高其柔韧性；通过加入氧化锌提高其热稳定性能。

具体实施方式