[发明专利]圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法

说明书

圆环状基板、磁盘用基板及其制造方法、磁盘及其制造方法。本发明提供能够改善磁盘在高速旋转时的颤振的磁盘用玻璃基板及磁盘。本发明的一个方式的磁盘用玻璃基板在中心具有圆孔，并具有一对主表面和与所述主表面垂直的侧壁面，其特征在于，所述圆孔的正圆度为1.5μm以下，根据在所述圆孔的侧壁面上的沿板厚方向相距200μm间隔的3点位置处的圆周方向的轮廓线分别求出的3个内切圆的半径的最大值与最小值之差为3.5μm以下。

本申请是申请号为201480009236.X的发明专利申请(国际申请号：PCT/JP2014/054384，申请日：2014年02月24日，发明名称：磁盘用玻璃基板和磁盘)的分案申请。

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃基板和磁盘。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive)。特别是在笔记型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用了在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上略微悬浮的磁头对磁性层进行磁记录信息的记录或读取。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向的垂直磁记录方式，进行磁记录信息区域的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。在这种盘片基板中，优选按照磁性层的磁化方向相对于基板面朝向大致垂直方向的方式，尽可能地使基板表面平坦，使磁性粒子的生长方向统一为垂直方向。

进一步，为了进一步增大存储容量，还进行了下述操作：通过使用搭载有DFH(Dynamic Flying Height)机构的磁头来极度缩短距磁记录面的悬浮距离，从而降低磁头的记录再生元件与磁盘的磁记录层之间的磁性间距，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。该情况下，为了长期稳定地进行利用磁头的磁记录信息的读写，要求尽可能减小磁盘的基板的表面凹凸。

磁盘记录有用于将磁头定位于数据轨道的伺服信息。以往，已知的是：若降低磁盘的外周侧的端面(下文中也称为外周端面)的正圆度，则磁头的悬浮稳定，可良好地进行伺服信息的读取，利用磁头进行的读写稳定。例如，在专利文献1记载的技术中，公开了外周端面的正圆度为4μm以下的磁盘用玻璃基板。根据该玻璃基板，通过降低外周端面的正圆度，从而LUL(load unload，装载卸载)试验耐久性提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-217918号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，近年来随着能量辅助磁记录技术和覆写(Shingle writing)技术等的重要技术的进步，具有500kTPI以上的极高的轨道记录密度的磁盘得到实际应用。另外，已知的是，在将这种具有极高的轨道记录密度的磁盘装入主轴中来组装HDD时，在使用了中心的圆孔(下文中也适当称为“内孔”)的正圆度足够低(小)的磁盘(例如内孔的正圆度为1.5μm以下的磁盘)时，在磁盘高速旋转时颤振(fluttering)(由于磁盘的旋转使得磁盘振动(ばたつく)的现象)的幅度(level)增大。

因此，本发明的目的在于提供一种能够改善高速旋转时的磁盘的颤振的磁盘用玻璃基板及磁盘。

用于解决课题的方案

针对上述课题，本发明人对在HDD中颤振的幅度较大的磁盘研究了板厚的偏差和主表面的粗糙度和微小波纹度(Micro Waviness)，没有发现特殊的异常。

本发明人对颤振的幅度增大的原因进行了如下推测。