[发明专利]用于处于加工状态的工件的防护的保护膜及其应用

说明书

本发明涉及一种用于处于加工状态的工件的防护的保护膜，所述的保护膜粘附于所述的工件的表面，所述的保护膜依次包括：基材层，包括聚氯乙烯层和聚丙烯酸酯层；粘合剂层，所述的基材层中的聚丙烯酸酯层邻近所述的粘合剂层设置，所述的粘合剂包括乙烯基硅氧烷和丙烯酸酯；以及离型层，包括与所述的粘合剂层邻近设置的离型面；所述的保护膜在成膜后经过电子束辐照处理使得所述的粘合剂层中的乙烯基硅氧烷和丙烯酸酯发生交联反应。本发明的耐高温保护膜可用于半导体晶圆的研磨、玻璃屏幕或有机玻璃屏幕制品的切削、钢板的切割加工等高精度工件的制程保护。

技术领域

本发明涉及保护膜技术领域，具体是指一种用于处于加工状态的工件的防护的保护膜及其应用。

背景技术

在金属或非金属精密工件的制造过程中，工件在研磨减薄、CNC切削等制程时往往会被研磨液、切屑等物质划伤或污染表面，造成外观质量差、翘曲、表面精度差等问题。

因此需要一种具有较高的洁净度及极低离子杂质含量、且具有优良的尺寸稳定性、适中的粘接性、热稳定性，使研磨减薄加工中能良好地与工件粘贴，能在研磨产生的高温下不发生胶层脱离的现象的保护膜。同时，保护膜还要起到保护工件表面不受其他杂质的污染；在加工后，胶层的粘接性不发生改变，保护膜易从工件上剥离，且保护膜不发生收缩现象，防止工件随着保护膜翘曲变形。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种粘合剂层能形成网状结构、提高耐热性和耐老化性能、增强耐化学稳定性和耐溶剂性的用于处于加工状态的工件的防护的保护膜。

为了实现上述目的，本发明的用于处于加工状态的工件的防护的保护膜及其应用如下：

本发明一方面提供了一种用于处于加工状态的工件的防护的保护膜，所述的保护膜可移除地粘附于所述的工件的表面，其主要特点是，所述的保护膜依次包括：

基材层，包括聚氯乙烯层和聚丙烯酸酯层；

粘合剂层，所述的基材层中的聚丙烯酸酯层邻近所述的粘合剂层设置，所述的粘合剂包括乙烯基硅氧烷和丙烯酸压敏胶；以及

离型层，包括与所述的粘合剂层邻近设置的离型面；

所述的保护膜在成膜后经过电子束辐照处理使得所述的粘合剂层中的乙烯基硅氧烷和丙烯酸压敏胶发生交联反应。

较佳地，所述的聚丙烯酸酯层包括以下质量份的原料：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)70～100份、丙烯酸酯类增韧剂0～30份、紫外吸收剂0.01～2份、抗氧剂0.01～2份。

较佳地，所述的粘合剂层包括以下质量份的原料：丙烯酸树脂1～100份，乙酸乙酯1～100份，丙烯酸1～50份，固化剂0.01～50份，固化促进剂0.01～30份，乙烯基硅氧烷1～100份，增粘树脂1～20份

更佳地，所述的丙烯酸树脂为均聚的丙烯酸酯或共聚的C₁～C₂₀烷基酯中的一种或多种，所述的均聚的丙烯酸酯包括丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、2-乙基己基丙烯酸酯、丙烯酸辛酯或其甲基取代物，所述的共聚的C₁～C₂₀烷基酯包括丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯和可共聚的单体；

所述的增粘树脂为碳氢树脂、古马隆-茚树脂、松香树脂、萜烯树脂中的一种或多种。

较佳地，所述的离型层包括聚对苯二甲酸乙二醇酯层和硅离型剂层，所述的硅离型剂层为所述的离型面。

较佳地，所述的粘合剂层先涂布于所述的离型层的离型面上，待所述的粘合剂中的溶剂完全挥发后再与所述的基材层复合，所述的基材层的复合面为所述的聚丙烯酸酯层。

更佳地，所述的基材层的复合面在于所述的粘合剂层复合之前经过表面处理，所述的表面处理包括电晕处理和/或化学处理。