[发明专利]一种压电陶瓷压电微位移测量方法

权利要求书

1.一种压电陶瓷压电微位移测量方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

1)采用静态大倍率显微成像装置，将压电陶瓷静止放置在镜头下方；

2)通过所述静态大倍率显微成像装置采集压电陶瓷的初始状态、升压状态和降压状态下的图像信息；

3)通过初始状态下图像分别与升压状态图像和降压状态图像进行对比，测量其位移距离，通过将升压状态位移与降压状态位移相减得出压电陶瓷迟滞效应位移量。

2.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷压电微位移测量方法，其特征在于，定义标准图像为压电陶瓷为未通电时的图像，定义升压图像为压电陶瓷加压至设定电压时的图像，定义降压图像为压电陶瓷升压后再降压至所述设定电压时的图像；对压电陶瓷进行n等分标记，定义x_i为压电陶瓷等分标记在标准图像中的位置，定义x′_i为压电陶瓷等分标记在升压图像中的位置，定义x″_i为压电陶瓷等分标记在升压图像中的位置；所述压电陶瓷迟滞效应位移量满足关系式：

其中ΔX_c表示压电陶瓷迟滞效应位移量，ΔX_UI表示设定电压下对应压电陶瓷升压的微位移，ΔX_UO表示设定电压下对应压电陶瓷降压的微位移，k表示静态大倍率显微成像装置对压电陶瓷的放大倍率。

3.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷压电微位移测量方法，其特征在于，所述静态大倍率显微成像装置为高清静态成像设备。

4.根据权利要求3所述的一种压电陶瓷压电微位移测量方法，其特征在于，所述高清静态成像设备为激光共聚焦显微镜。