[发明专利]图像传感器在审
申请号: | 201810661733.8 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN109560105A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 李贵德;金政勳;金昶和;朴商秀;严祥训;李范硕;李泰渊;任东模 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/30 | 分类号: | H01L27/30 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培;黄隶凡 |
地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第一电极 电极绝缘层 凹槽区 滤色器 有机光电二极管 图像传感器 第二电极 衬底 有机光电转换层 角度延伸 侧表面 夹置 接缝 填充 申请 | ||
1.一种图像传感器,其特征在于,包括:
滤色器,位于衬底上;以及
有机光电二极管,设置在所述滤色器上,
其中所述有机光电二极管包括:
电极绝缘层,在所述衬底上具有凹槽区;
第一电极,位于所述滤色器上,所述第一电极填充所述电极绝缘层的所述凹槽区;
第二电极,位于所述第一电极上;以及
有机光电转换层,夹置在所述第一电极与所述第二电极之间,
其中所述第一电极包括从所述电极绝缘层的所述凹槽区的侧表面以第一角度延伸的接缝。
2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一电极跨越所述接缝不连续。
3.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述衬底包括:
光电二极管,设置在所述滤色器之下;以及
存储节点区,电连接到所述光电二极管。
4.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,还包括:
上部绝缘层,环绕所述滤色器的侧表面;以及
上部接触塞,穿透所述上部绝缘层以接触所述第一电极。
5.根据权利要求4所述的图像传感器,其特征在于,还包括:
接触通孔,穿透所述衬底以接触所述上部接触塞;以及
下部接触塞,突出到所述接触通孔中。
6.根据权利要求5所述的图像传感器,其特征在于,还包括:
层间绝缘层,具有互连层,
其中所述下部接触塞通过所述层间绝缘层电连接到所述存储节点区。
7.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一电极的所述接缝从所述电极绝缘层的所述凹槽区的隅角朝所述第一电极的上表面延伸。
8.根据权利要求7所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述接缝连接到所述第一电极的上表面。
9.根据权利要求7所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述接缝连接到所述电极绝缘层的所述凹槽区的所述隅角。
10.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一电极还包括被所述接缝划分开的第一区与第二区,且
其中所述第一区设置在所述接缝与所述电极绝缘层的所述凹槽区的下表面之间,且
其中所述第二区设置在所述接缝与所述电极绝缘层的所述凹槽区的侧表面之间。
11.根据权利要求10所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一区及所述第二区是由相同的材料形成。
12.根据权利要求11所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一区包含多晶相。
13.根据权利要求12所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一区还包括非晶相。
14.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述第一电极还包括被所述接缝划分开的第一区与第二区,且
其中所述第一区具有朝所述有机光电转换层减小的宽度,且
其中所述第二区具有朝所述有机光电转换层增大的宽度。
15.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,还包括:
顶盖绝缘层,夹置在所述滤色器与所述第一电极之间。
16.根据权利要求15所述的图像传感器,其特征在于,
其中所述电极绝缘层的所述凹槽区暴露出所述顶盖绝缘层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的