[发明专利]一种用于同一波段多路激光合束的自动对准装置有效
申请号: | 201810661778.5 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN108919480B | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 郭劲;徐新行;韩旭东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B27/09;G02B27/10 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 同一 波段 激光 自动 对准 装置 | ||
1.一种用于同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述装置包括:第一激光器、第一快反镜组件、第二激光器、第二快反镜组件、第一合束镜、第一导光镜、分光镜、平行光管、缩束系统和控制器;
所述第一快反镜组件包括第一平移台、第一二维摆台、第一反射镜;所述第一反射镜设置于第一二维摆台上,所述第一二维摆台设置于第一平移台上;
所述第二快反镜组件包括第二平移台、第二二维摆台、第二反射镜;所述第二反射镜设置于第二二维摆台上,所述第二二维摆台设置于第二平移台上;
所述控制器分别与第一平移台、第一二维摆台、第二平移台、第二二维摆台、平行光管、缩束系统连接;
所述第一激光器发出的第一激光经过第一反射镜进入第一合束镜,所述第二激光器发出的第二激光经过第二反射镜反射后进入第一合束镜,第一激光和第二激光在第一合束镜位置进行合束,形成合光束;
所述第一导光镜设置于第一合束镜与分光镜之间;合光束经第一导光镜的透射部分为监视光束,监视光束经分光镜后,形成第一监视光束和第二监视光束,第一监视光束进入平行光管,第二监视光束进入缩束系统;
所述平行光管用于检测第一激光、第二激光分别与基准光路的角度偏差,并生成第一反馈信息;
所述缩束系统用于检测第一激光与第二激光之间的位置偏差,并生成第二反馈信息;
所述控制器用于接收第一反馈信息,并根据第一反馈信息实时调节第一二维摆台和第二二维摆台的倾斜角度,直至第一激光、第二激光分别与基准光路的角度偏差在第一预设误差范围内;以及用于接收第二反馈信息,并根据第二反馈信息实时调节第一平移台和第二平移台的坐标位置,直至第一激光和第二激光的位置偏差在第二预设误差范围内;
所述装置还包括第二导光镜,所述第二导光镜设置于第二激光器与第二快反镜组件之间;所述第二激光器与第一激光器设置于不同的高度位置;
第二激光经过第二导光镜发生竖直反射后进入第二反射镜,再经过第二反射镜竖直反射后进入第一合束镜;第一激光经过第一反射镜发生水平反射后进入第一合束镜。
2.如权利要求1所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,进入第一合束镜的两路激光相互垂直。
3.如权利要求1所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述第一导光镜用于对合光束进行反射,以使得第一预设百分比的合光束进入监视光路;第一预设百分比由第一导光镜对合光束的透射效率确定,第一预设百分比大于0且小于1%。
4.如权利要求3所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述第一导光镜用于对合光束进行反射,以使得第二预设百分比的合光束进入主应用光路;第二预设百分比由第一导光镜对合光束的反射效率确定,第二预设百分比大于99%且小于100%。
5.如权利要求4所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述第二预设百分比为99.99%,第一预设百分比为0.01%。
6.如权利要求1所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述装置还包括第三激光器、第三导光镜、第三快反镜组件和第二合束镜组件;
所述第三导光镜设置于第三激光器和第三快反镜组件之间;
所述第三快反镜组件包括第三平移台、第三二维摆台、第三反射镜;所述第三反射镜设置于第三二维摆台上,所述第三二维摆台设置于第三平移台上;
所述第二合束镜组件还包括第二合束镜和第四平移台;所述第二合束镜设置于第四平移台上;
所述第三激光器发出的第三激光依次经过第三导光镜和第三反射镜竖直反射、第二合束镜水平反射后进入第一合束镜。
7.如权利要求6所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述第三激光器与第一激光器设置于不同的高度位置。
8.如权利要求6所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述第一反馈信息中还包含了第三激光与基准光路的角度偏差;所述第二反馈信息中还包含了第三激光分别与第一激光、第二激光之间的位置偏差。
9.如权利要求1至8任一项所述的同一波段多路激光合束的自动对准装置,其特征在于,所述位置偏差包括左右位置偏差量和高低位置偏差量,所述角度偏差包括左右角度偏差量和高低角度偏差量。
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