[发明专利]压板及检测设备有效
| 申请号： | 201810671897.9 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108707862B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 万永超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压板 检测 设备 | ||
1.一种压板，所述压板用于掩膜板检测，其特征在于，所述压板包括压板本体及支撑件，所述支撑件用于支撑于所述掩膜板的非有效区，以使得所述压板本体与所述掩膜板的有效区呈不完全压合状态。
2.根据权利要求1所述的压板，其特征在于，所述支撑件与所述压板本体滑动连接，以根据不同掩膜板的有效区调节所述支撑件与所述压板本体的相对位置。
3.根据权利要求2所述的压板，其特征在于，所述压板本体设有刻度线，以根据所述刻度线调节所述支撑件与所述压板本体的相对位置。
4.根据权利要求1所述的压板，其特征在于，所述掩膜板的非有效区的数量为多个，所述支撑件的数量为多个，所述多个支撑件间隔设置，以分别用于支撑于所述多个非有效区。
5.根据权利要求1所述的压板，其特征在于，所述支撑件的厚度为0.1～0.3mm。
6.根据权利要求1所述的压板，其特征在于，所述压板本体穿设于所述支撑件，以使得所述支撑件包括分别位于所述压板本体相对两侧的第一支撑部及第二支撑部。
7.根据权利要求6所述的压板，其特征在于，所述第一支撑部与所述第二支撑部的厚度不同。
8.根据权利要求1所述的压板，其特征在于，所述支撑件呈环形设置，以环绕支撑于所述掩膜板的有效区四周的非有效区。
9.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括检测平台及权利要求1～8中任一项所述的压板，所述检测平台用于承载掩膜板。
10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备进一步包括上料机构，所述上料机构用于将所述掩膜板承载于所述检测平台上，并将所述压板放置于所述掩膜板上。
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