[发明专利]压板及检测设备

说明书

本申请公开了一种压板及检测设备，该压板用于掩膜板检测，包括压板本体及支撑件，支撑件用于支撑于掩膜板的非有效区，以使得压板本体与掩膜板的有效区呈不完全压合状态。通过上述方式，本申请能够改善掩膜板入料检测时因压合玻璃产生的损伤及同时改善掩膜板翘曲的问题，提高掩膜板的生产率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种压板及检测设备。

背景技术

条形精密金属掩膜板(Fine Metal Mask Sheet，FMM Sheet)为制作OLED蒸镀用精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的原料。其中，F条形精密金属掩膜板在原厂时使用药液刻蚀的方式进行加工，入厂后，因受到内部应力的影响，入料检测(Incoming QualityControl,IQC)时往往会有效区翘曲问题的产生，从而影响检测。

如图1，常规的做法是在条形精密金属掩膜板L上直接压一块透明的压合玻璃1，但常规做法容易将条形精密金属掩膜板的有效区压出损伤，例如出现如图1所示的凹坑2的风险。

发明内容

本申请提供一种压板及检测设备，能够改善掩膜板入料检测时因压合玻璃产生的损伤及同时改善掩膜板翘曲的问题，提高掩膜板的生产率。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种压板，所述压板用于掩膜板检测，所述压板包括压板本体及支撑件，所述支撑件用于支撑于掩膜板的非有效区，以使得所述压板本体与所述掩膜板的有效区呈不完全压合状态

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种检测设备，所述检测设备包括检测平台及上述任一项所述的压板，所述检测平台用于承载掩膜板。

本申请的有益效果是：提供一种压板及检测设备，通过在压板本体上设置支撑于掩膜板非有效区域的支撑件，可以使得压板本体与掩膜板的有效区呈不完全压合状态，从而改善掩膜板入料检测时因压合玻璃产生的损伤及同时改善掩膜板翘曲的问题，提高掩膜板的生产率。

附图说明

图1是现有技术压板一实施方式的结构示意图

图2是本申请压板第一实施方式的结构示意图；

图3是本申请压板第二实施方式的结构示意图；

图4是本申请压板第三实施方式的结构示意图；

图5是本申请压板第二实施方式的截面示意图；

图6是本申请支撑部第一实施方式的截面示意图；

图7是本申请压板第四实施方式的结构示意图；

图8是本申请检测设备一实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图2，图2是本申请压板第一实施方式的结构示意图。如图2，本申请中提供的压板10可以包括压板本体11及支撑件12。

其中，支撑件12用于支撑于掩膜板L的非有效区(图示为aa区)，以使得压板本体11与掩膜板L的有效区(图示为AA区)呈不完全压合状态。其中，本申请中的掩膜板L可以为条形精密金属掩膜板，在其它实施例中，也可以是其他金属掩膜板，此处不做进一步限定。