[发明专利]一种平板杂质快检装置以及平板杂质的检测方法

说明书

本发明提供了一种平板杂质快检装置以及平板杂质的检测方法，涉及平板检测领域，该平板杂质快检装置，包括基板承载台、光学探头、平行光发生器、干涉透光板以及处理器；平行光发生器设置在基板承载台的上方，用于生成平行光并将平行光照射至待测基板；干涉透光板设置在基板承载台与平行光发生器之间并能够与待测基板呈夹角设置；光学探头设置在干涉透光板的上方并与处理器电连接，用于采集干涉条纹的图像信息并传递至处理器；处理器用于依据图像信息生成杂质位置数据和杂质面积数据。相较于现有技术，本发明提供的一种平板杂质快检装置，能够快速准确地检测灰尘并能够确定灰尘尺寸，检测过程方便快捷，大大提高了检测效率与检测准确度。

技术领域

本发明涉及平板检测领域，具体而言，涉及一种平板杂质快检装置以及平板杂质的检测方法。

背景技术

在平板显示行业中，已有的灰尘检测方案是利用相机拍摄玻璃基板，通过检测玻璃基板上每个位置的灰度值，并对比此灰度值大小和给定阈值的大小，超出阈值，判定此处像素沾有灰尘，反之正常。

然而实际在生产过程中，用上述方法计算速度较慢，并且难以确定灰尘尺寸的大小，而仅能知道灰尘的数量。

有鉴于此，设计制造出一种能够快速准确地检测灰尘并能够确定灰尘尺寸的平板杂质快检装置就显得尤为重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种平板杂质快检装置，其能够快速准确地检测灰尘并能够确定灰尘尺寸。

本发明的另一目的在于提供一种平板杂质的检测方法，能够快速准确地检测灰尘并能够确定灰尘尺寸。

本发明是采用以下的技术方案来实现的。

一种平板杂质快检装置，包括基板承载台、光学探头、平行光发生器、干涉透光板以及处理器，基板承载台用于承载待测基板；

平行光发生器设置在基板承载台的上方，用于生成平行光并将平行光照射至待测基板；

干涉透光板设置在基板承载台与平行光发生器之间并能够与待测基板呈夹角设置，用于透过平行光并生成干涉条纹；

光学探头设置在干涉透光板的上方并与处理器电连接，用于采集干涉条纹的图像信息并传递至处理器；

处理器用于依据图像信息生成杂质位置数据和杂质面积数据。

进一步地，基板承载台上设置有运动调节机构，干涉透光板与运动调节机构连接，运动调节机构用于带动干涉透光板相对基板承载台运动，以使干涉透光板与待测基板呈夹角设置。

进一步地，运动调节机构包括左调节组件和右调节组件，右调节组件与干涉透光板的一端连接，用于带动干涉透光板的一端相对基板承载台运动，以使干涉透光板的一端与待测基板相抵持；左调节组件与干涉透光板的另一端连接，用于带动干涉透光板的另一端相对基板承载台运动，以使干涉透光板的另一端与待测基板间隔设置。

进一步地，基板承载台上设置有承载支架和限位挡架，且限位挡架环绕承载支架设置并与承载支架共同围成一装夹位，用于容置待测基板。

进一步地，处理器包括位置检测单元、面积检测单元、分析单元和存储单元，位置检测单元和面积检测单元均与分析单元电连接，分析单元与存储单元电连接，位置检测单元用于检测图像信息中凹凸点的位置并生成凹凸点位置信息，面积检测单元用于检测图像信息中凹凸点的长度并生成凹凸点长度信息，分析单元用于依据凹凸点位置信息生成杂质位置数据，分析单元还用于依据凹凸点长度信息生成杂质面积数据，存储单元用于存储杂质位置数据和杂质面积数据。