[发明专利]一种光分路器的晶圆贴片装置

权利要求书

1.一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，它包括机架（1）、设置在机架（1）上的贴片工作台（16），所述贴片工作台（16）上开设有放置晶圆片（18）和玻璃盖板（17）的两个通孔（161），所述机架（1）的侧部固定有气缸（2），所述气缸（2）的活塞杆（3）连接滑座（4），所述滑座（4）的两侧设有带座轴承（5）和伺服电机（6），丝杆轴（7）安装在带座轴承（5）和伺服电机（6）上，所述丝杆轴（7）与滑板（8）螺纹连接，所述滑板（8）穿过滑座（4）的开口（401）与贴片机构（9）连接，所述的贴片机构（9）位于通孔（161）的上端；在所述滑座（4）的下底板上固定有齿板（10），机架（1）上设置有活动转轴（12），所述活动转轴（12）的两侧设置有齿轮（11）、轴径上安装有轴套（13），所述的齿轮（11）与齿板（10）啮合连接，轴套（13）上设置有胶刷（14），所述的胶刷（14）位于玻璃盖板（17）所放置的通孔（161）内；位于轴套（13）的下端设置有上胶机构（15）。

2.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，所述上胶机构（15）由盛胶盒（151）和支撑杆（152）组成，所述盛胶盒（151）内放置有UV胶。

3.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，所述贴片机构（9）包括一支管夹板（901）、连接杆（902）以及贴片台架（907），所述的支管夹板（901）和连接杆（902）与滑板（8）连接，贴片台架（907）设置在连接杆（902）上；位于贴片台架（907）的下端设置吸盘固定块（904），所述吸盘固定块（904）的下端设置有吸盘（905），气管接头（903）通过气管与吸盘（905）连接。

4.根据权利要求3所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，所述贴片台架（907）内开设有内腔（908）和连通内腔（908）的出气口（910），所述的出气口（910）位于贴片台架（907）两侧，支管（906）一端固定在支管夹板（901）上，另一端与贴片台架（907）的内腔（908）连通。

5.根据权利要求4所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，用于放置玻璃盖板（17）和晶圆片（18）的通孔（161）处分别设置有形状相同的左定位块I（19）和左定位块II（23），用于放置晶圆片（18）的通孔（161）处设置有与左定位II（23）相对设置的右定位块II（22），所述的左定位块I（19）和左定位块II（23）均通过弹簧（21）连接贴片工作台（16），且左侧端设置有锥面（231），其锥面（231）与贴片工作台（16）之间形成有卡槽（20），所述贴片台架（907）的左侧设置有与锥面（231）相配合的压块（909）。

6.根据权利要求5所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，所述左定位I（19）和左定位块II（23）的形状为形成延伸方向相平行的第一部分（192）和第三部分（194），及连接第一部分（192）和第三部分（194）的第二部分（194），所述第二部分（194）与第一部分（192）和第三部分（194）垂直设置。

7.根据权利要求5所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于，在晶圆贴片时，所述贴片台架（907）与左定位块II（23）、晶圆片（18）、玻璃盖板（17）以及贴片工作台（16）之间形成一烘干槽（911），所述烘干槽（911）与内腔（908）通过出气口（910）连通。