[发明专利]一种曝边机

权利要求书

1.一种曝边机，其特征在于，包括：送风机构和曝光腔室；

所述曝光腔室的顶壁设置有进气口，所述送风机构用于通过所述进气口向所述曝光腔室内输送气体；

所述曝光腔室的底壁设置有第一排放口，以使得所述曝光腔室内的残留物通过所述第一排放口排出所述曝光腔室；

所述曝光腔室内部设置有曝光平台，所述曝光平台用于承载基板；所述曝光腔室的底壁倾斜设置，所述底壁与第一表面之间形成第一夹角；

其中，所述第一表面平行于所述曝光平台所在的表面；

所述第一排放口包括多个形成于所述底壁的第一通孔，所述第一通孔用于将所述曝光腔室内的残留物排出；

所述曝边机进一步包括支撑所述曝边机的底板，所述底板对应所述底壁的位置形成有第二排放口，用于将所述第一排放口排出的所述残留物排出所述曝边机；

所述第二排放口包括多个形成于所述底板的第二通孔，所述第二通孔沿所述气体的输送方向的投影与所述第一通孔至少部分重合。

2.根据权利要求1所述的曝边机，其特征在于，所述第一夹角不大于45度。

3.根据权利要求1所述的曝边机，其特征在于，所述第一通孔呈网格状分布于所述底壁。

4.根据权利要求1所述的曝边机，其特征在于，所述曝边机进一步包括废物收集机构，所述废物收集机构连接所述第一排放口或所述第二排放口，用于收集所述第一排放口或所述第二排放口排出的所述残留物。

5.根据权利要求1所述的曝边机，其特征在于，所述送风机构包括过滤装置，用于将空气过滤后得到洁净干燥的所述气体。

6.根据权利要求1所述的曝边机，其特征在于，所述曝边机进一步包括设置于所述曝光平台朝向所述进气口一侧的照明机构，及设置于所述照明机构和所述曝光平台之间的掩膜，所述照明机构用于提供光束，所述掩膜具有图案信息，用于产生包含所述图案信息的出射光，以对所述曝光平台上放置的基板进行曝光。