[发明专利]力检测装置及机器人

说明书

一种力检测装置及机器人，能够实现力检测装置的外力检测的高精度化。所述力检测装置具备：第一部件；第二部件，与第一部件对置地配置；传感器器件，配置于第一部件与第二部件之间，并具备力检测元件，力检测元件具有对应于外力输出信号的至少一个压电元件；以及多个施压部件，在从第一部件与第二部件重叠的方向观察的俯视观察下，设置于传感器器件的外周部，对传感器器件施压，第一部件具有：第一部分，与传感器器件接触；以及第二部分，在俯视下位于第一部分的外周部，并包括调整第一部分对传感器器件的接触压力的调整部，调整部在施压部件的施压方向上的长度比第一部分在施压方向上的长度短。

技术领域

本发明涉及力检测装置及机器人。

背景技术

以往以来，在具有安装有末端执行器的机器人臂的工业用机器人中，检测对末端执行器施加的力的力检测装置被使用。作为这样的力检测装置的一个例子，已知例如具有多个压电体且利用该压电体的压电效应的装置。

例如，在专利文献1中公开了一种力检测装置，具有：传感器器件，具备具有多个压电体和多个电极的传感器元件；夹持传感器器件的板状的第一基台及第二基台；以及多个螺栓，将第一基台与第二基台连接。在该力检测装置中，在从第一基台与第二基台重叠的方向观察的俯视观察下，多个螺栓配置于传感器器件的外周部。并且，通过适当地调整这些螺栓的紧固，向传感器器件施加预定的施压。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-220462号公报

但是，在专利文献1的力检测装置中，存在因为第一部件或第二部件的挠曲的影响而很难使第一部件或第二部件对传感器器件的接触状态变得均匀的问题。因此，很难提高力检测装置的检测精度。另外，由于第一部件或第二部件对传感器器件的接触状态不均匀，因此存在传感器器件所具备的多个压电体容易破损的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而作成的，能够作为以下的实施例或方式而实现。

本实施例的力检测装置具备：第一部件；第二部件，与所述第一部件对置地配置；传感器器件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并具备力检测元件，所述力检测元件具有对应于外力输出信号的至少一个压电元件；以及多个施压部件，在从所述第一部件与所述第二部件重叠的方向观察的俯视观察下，设置于所述传感器器件的外周部，对所述传感器器件施压，所述第一部件具有：第一部分，与所述传感器器件接触；以及第二部分，在所述俯视观察下位于所述第一部分的所述外周部，包括调整所述第一部分对所述传感器器件的接触压力的调整部，所述调整部在所述施压部件的施压方向上的长度比所述第一部分在所述施压方向上的长度短。

根据这样的力检测装置，通过具备调整部，能够使第一部分对传感器器件的接触压力(接触状态)为均匀或接近均匀的状态。因此，能够实现力检测装置的外力检测的高精度化。另外，能够提高力检测元件的耐久性。

在本实施例的力检测装置中，优选的是，在所述俯视观察下，所述调整部设置于所述施压部件与所述传感器器件之间。

由此，能够更适当地调整第一部分对传感器器件的接触压力。

在本实施例的力检测装置中，优选的是，在所述第二部分设置有凹部，所述调整部构成为包括所述凹部的底部。

由此，能够更适当地调整第一部分对传感器器件的接触压力。另外，能够利用设置凹部这样的较简单的结构来构成调整部。

在本实施例的力检测装置中，优选的是，所述第一部分具有凸部，在多个所述施压部件没有对所述传感器器件施压的状态下，所述凸部朝向所述传感器器件而呈凸状。

由此，能够使第一部分对传感器器件的接触压力更均匀。