[发明专利]用于形成图案的设备有效
申请号: | 201810693050.0 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN109216231B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 张宰荣;薛捧浩 | 申请(专利权)人: | 灿美工程股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道龙*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 形成 图案 设备 | ||
1.一种用于形成图案的设备,所述用于形成图案的设备排出溶液以形成所述图案,其特征在于,所述用于形成图案的设备包括:
支撑单元,加工对象安放于所述支撑单元上;
喷嘴单元,安置于所述支撑单元上以排出所述溶液;
块夹具,安置于所述支撑单元上且具有安装孔以便安装所述喷嘴单元;以及
固定构件,配置成将所述喷嘴单元限定在所述安装孔内,
其中所述块夹具包括:
下部块,设置有平行于安置有所述喷嘴单元的方向的一个表面;
上部块,在安置有所述喷嘴单元的所述方向上延伸,位于所述下部块的所述一个表面的一个区域上;以及
覆盖块,可旋转地安装于所述上部块上从而可从所述下部块的所述一个表面的另一区域拆卸,
其中所述安装孔在安置有所述喷嘴单元的方向上穿过所述下部块的所述一个表面上的所述上部块与所述覆盖块彼此面对的表面。
2.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述固定构件安置于所述喷嘴单元与所述安装孔彼此面对的表面中的至少一个表面上。
3.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述固定构件包括钩状构件,所述钩状构件安置成环绕所述喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分或所述安装孔的内壁的至少一部分,以及
所述钩状构件与所述安装孔的所述内壁或所述喷嘴单元的所述外圆周表面接触以将所述喷嘴单元的位置限定在所述安装孔内。
4.根据权利要求3所述的用于形成图案的设备,其中所述固定构件包括钩槽,使所述钩槽凹进以环绕所述安装孔的所述内壁的至少一部分或所述喷嘴单元的所述外圆周表面的至少一部分以使得可插入所述钩状构件。
5.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述固定构件包括:
耦合槽,凹进到所述喷嘴单元的外圆周表面的至少一个位置;以及
耦合突起,安装于所述安装孔的内壁的至少一个位置上且弹性地支撑以使得所述耦合突起可插入到所述耦合槽中。
6.根据权利要求5所述的用于形成图案的设备,其中所述耦合突起在与安置有所述喷嘴单元的方向交叉的竖直方向以及水平方向上相对于所述喷嘴单元的中心轴间隔开以朝向所述喷嘴单元突出。
7.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述下部块的上部主体的顶部表面的所述一个区域以及所述另一区域由在安置有所述喷嘴单元的方向上延伸,且位于所述下部块的所述一个表面上的区域线分隔的区域。
8.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述块夹具包括锁定构件,在与安置有所述喷嘴单元的所述方向交叉的方向上穿过所述上部块以及所述覆盖块安装所述锁定构件,
螺纹设置于所述锁定构件穿过所述上部块的端部的外圆周表面上且锁合到所述上部块,且所述锁定构件穿过所述覆盖块的一部分穿过所述覆盖块且可滑动地支撑,以及
对应于所述锁定构件的所述端部上的所述螺纹的螺纹设置于穿孔的两端远离所述上部块的端部上,所述穿孔定义于所述覆盖块中以使得所述锁定构件穿过。
9.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备,其中所述喷嘴单元包括:
喷嘴部件,安置于所述支撑单元上且具有所述溶液以电流体动力学方式穿过的通道;
销部件,安置于所述喷嘴部件的所述通道中;以及
连接器部件,连接到所述销部件以供应电力。
10.根据权利要求9所述的用于形成图案的设备,其中所述喷嘴单元包括:
鲁尔部件,安装以将所述喷嘴部件连接到所述连接器部件;以及
接头部件,安置于所述鲁尔部件内以支撑所述销部件从而与所述喷嘴部件的中心轴对准,
其中所述销部件固定地安装于所述接头部件上且与所述喷嘴部件的内圆周表面间隔开。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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