[发明专利]用于形成图案的设备

说明书

本发明提供一种用于形成图案的设备。用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放于支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，将喷嘴单元限定在安装孔内。因此，当替换喷嘴时，喷嘴在位置可重复性上可得到改进。

技术领域

本公开涉及一种用于形成图案的设备，且更确切地说涉及一种用于形成图案的当替换喷嘴时能够改进位置可重复性的用于形成图案的设备。

背景技术

用于制造半导体、平板显示器(flat panel displays；FPD)、印刷电路板(printedcircuit boards；PCB)等等的各种设施包含修复装置，所述修复装置能够通过使用电流体动力学(electrohydrodynamics；EHD)以细小液滴形式将导电油墨排出到衬底上来形成若干微米(μm)宽度的线形图案。

由于上文所描述的修复装置的EHD喷嘴(下文称作“喷嘴单元”)具有消耗性，因此在执行预定次数的修复过程后，所用喷嘴单元必须替换为新的喷嘴单元。

根据现有技术的修复装置并不具有当替换喷嘴单元时保持喷嘴单元的位置可重复性的结构。因此，限制在于所替换新的喷嘴单元的喷嘴的端部从修复装置的光学部分的观测区域偏离。另外，在替换喷嘴单元后，光学单元的视觉区域难以与喷嘴单元的喷嘴的端部匹配。

本公开的背景技术公开于以下专利文献中。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)KR10-2016-0109631 A

发明内容

本公开提供一种用于形成图案的设备，所述用于形成图案的设备能够在替换喷嘴时改进位置可重复性。

根据示例性实施例，一种用于形成图案的设备，所述用于形成图案的设备排出溶液以形成图案，所述用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放在支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，配置成将喷嘴单元限定在安装孔内。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可安置于喷嘴单元与安装孔彼此面对的表面中的至少一个表面上。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含钩状构件，所述钩状构件安置成环绕喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分或安装孔的内壁的至少一部分，且钩状构件可与安装孔的内壁或喷嘴单元的外圆周表面接触以将喷嘴单元的位置限定在安装孔内。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含钩槽，使所述钩槽凹进以环绕安装孔的内壁的至少一部分或喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分以使得可插入钩状构件。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含：耦合槽，从喷嘴单元的外圆周表面的至少一个位置凹进；以及耦合突起，安装于安装孔的内壁的至少一个位置上且弹性地支撑以使得可将耦合突起插入到耦合槽中。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，耦合突起可在与安置有喷嘴单元的方向交叉的竖直方向和水平方向上相对于喷嘴单元的中心轴间隔开以朝向喷嘴单元突出。

在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，块夹具可包含多个块，所述多个块彼此可拆卸地耦合以使得其一侧可相对于安装孔打开，且多个块中的相对于安装孔安置在一侧处的一个块可可旋转地安装于另一侧处的另一块上。