[发明专利]一种自动下蜡设备在审
| 申请号： | 201810693475.1 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108807238A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 胡世珍 | 申请（专利权）人： | 芜湖源码自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水平手臂 真空吸盘 密封管 万向轴 真空泵 支撑杆 手臂 垂直 卡扣 左端 电机 伸缩式支撑杆 耐高温橡胶 芯片背面 伸缩式 减小 良率 破片 吸附 圆片 相通 伸出 概率 生产 | ||
1.一种自动下蜡设备，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）上设有伸缩式支撑杆（2），所述支撑杆（2）上向左方伸出有万向轴（3），所述万向轴（3）左端连接有伸缩式水平手臂（4），所述水平手臂（4）左端连接有垂直手臂（5），所述垂直手臂（5）底部下方设有3个真空吸盘（6），所述3个真空吸盘（6）底部分别连接有1个密封管（7），所述基座（1）右方设有真空泵（8），所述真空泵（8）通过密封管（7）与真空吸盘（6）相通，所述真空泵（8）右方设有电机（9），所述电机（9）与支撑杆（2）、万向轴（3）、水平手臂（4）相连，所述支撑杆（2）与水平手臂（4）、垂直手臂（5）上均设有卡扣（10），所述密封管（7）横截面直径之和小于卡扣（10）直径。
2.如权利要求1所述的一种自动下蜡设备，其特征在于：所述真空泵（8）顶部设有酒精瓶（11），所述酒精瓶（11）内部向外伸出有3根酒精管（12），所述3根酒精管（12）的另一端均设有电磁阀（13），所述3根酒精管（12）均通过电磁阀（13）分别与3个真空吸盘（6）上的密封管（7）相连。
3.如权利要求1所述的一种自动下蜡设备，其特征在于：所述真空吸盘（6）左方设有放置台（14），所述放置台（14）右上端设有凹槽（15），所述放置台（14）顶部连接有固定杆（16），所述固定杆（16）顶部设有传感器（17）。
4.如权利要求1所述的一种自动下蜡设备，其特征在于：3个所述真空吸盘（6）均为耐高温橡胶真空吸盘，3个所述真空吸盘（6）处于同一水平面上，且所处位置呈三角形形状。
5.如权利要求1或2或3所述的一种自动下蜡设备，其特征在于：所述支撑杆（2）上端朝前方设有控制电脑（18），所述控制电脑（18）与真空泵（8）、电机（9）、电磁阀（13）、传感器（17）电性连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
