[发明专利]传感器、掩模板叉、机械手、掩模板传输系统及光刻机

权利要求书

1.一种传感器，其特征在于，包括稳压模块、光电感应模块、信号放大模块以及信号检测模块；

所述稳压模块与所述光电感应模块和所述信号放大模块电连接，用于为所述光电感应模块和所述信号放大模块提供恒定电压；

所述光电感应模块用于探测目标物体是否到达设定区域；

所述信号放大模块与所述光电感应模块电连接，用于对所述光电感应模块输出的信号进行放大；

所述信号检测模块与所述稳压模块和所述信号放大模块均电连接，用于基于所述信号放大模式输出的信号判断所述传感器的当前工作状态，所述当前工作状态包括开路、短路、正常触发以及未触发。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，

所述稳压模块包括运算处理单元，第一晶体管单元，参考电压单元、第一电阻和第二电阻，

所述第一晶体管单元的第一输入端与所述运算处理单元输出端电连接，所述第一晶体管单元的第二输入端与所述稳压模块的信号输入端电连接，所述第一晶体管单元的输出端与所述第一电阻的第一端和所述稳压模块的信号输出端电连接；

所述运算处理单元正输入端与所述第一电阻的第二端和所述第二电阻的第一端均电连接；

所述参考电压单元的第一输入端与所述稳压模块的信号输入端电连接，所述参考电压单元的第二输入端和所述第二电阻的第二端均接地，所述参考电压单元输出端与所述运算处理单元负输入端电连接。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，

所述光电感应模块包括发光单元和感光单元；

所述发光单元和所述感光单元均与所述稳压模块的信号输出端电连接；

所述感光单元用于接收，由所述发光单元出射，经所述目标物体反射的光线。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，

所述发光单元包括发光二极管单元，所述感光单元包括光敏晶体管单元；所述光电感应模块还包括第三电阻；

所述发光二极管单元的输入端与所述第三电阻的第一端电连接，所述发光二极管单元的输出端接地；

所述光敏晶体管单元的输入端与所述第三电阻的第二端、以及所述光电感应模块的信号输入端电连接，所述光敏晶体管单元的输出端与所述光电感应模块的信号输出端电连接。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述信号放大模块包括第三晶体管单元、第四晶体管单元、可调电阻单元、第四电阻、第五电阻和第六电阻；

所述信号放大单元的信号输出端与所述第六电阻的第一端电连接，所述信号放大模块的第一信号输入端与所述第五电阻的第一端电连接，所述信号放大模块第二信号输入端与所述第四电阻的第一端电连接；所述可调电阻单元的第一端接地；

所述第三晶体管单元的第一输入端与所述可调电阻单元的第二端和所述第四电阻的第二端均电连接，所述第三晶体管单元的输出端接地，所述第三晶体管单元的输出端与所述第五电阻的第二端电连接；

所述第四晶体管单元的第一输入端与所述第三晶体管单元的第二输入端电连接，所述第四晶体管单元的输出端接地，所述第四晶体管单元的第二输入端与所述第六电阻的第二端电连接。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，

所述信号检测模块包括信号处理单元和结果判定单元；

所述信号处理单元与所述稳压模块和所述信号放大模块均电连接，用于对所述信号放大模块输出的信号进行处理，并得到信号处理结果；

所述结果判定单元与所述信号处理单元相连，用于基于所述信号处理结果，对所述传感器的当前工作状态进行识别。