[发明专利]高性能磨料抛光液在审
| 申请号： | 201810704978.4 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN108690507A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 郭小东 | 申请（专利权）人： | 江西汇诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341410 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磨料 抛光液 过渡金属氧化物 有机硅化合物 季铵盐 | ||
【权利要求书】：
1.一种高性能磨料抛光液，其特征在于，至少包括IIIA族氧化物、过渡金属氧化物、季铵盐、有机硅化合物、水。
2.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述IIIA族氧化物为IIIA族金属氧化物。
3.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述过渡金属氧化物为IVB族金属氧化物。
4.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述季铵盐为金属季铵盐或氢氧化季铵碱。
5.如权利要求2所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述IIIA族氧化物的粒径为0.3-0.8μm。
6.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述过渡金属氧化物的粒径为1-3μm。
7.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述高性能磨料抛光液还包括含有丁内酰胺的聚合物。
8.如权利要求7所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述含有丁内酰胺的聚合物的平均分子量为10000-33000。
9.如权利要求1所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述高性能磨料抛光液还包括缓蚀剂。
10.如权利要求9所述的高性能磨料抛光液，其特征在于，所述缓蚀剂选自亚硝酸盐、硝酸盐、铬酸盐、重铬酸盐、磷酸盐、多磷酸盐、硅酸盐、钼酸盐、含砷化合物、胺类、醛类、炔醇类、有机磷化合物、有机硫化合物、磺酸、磺酸盐、羧酸、羧酸盐、杂环化合物中的至少一种。
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