[发明专利]光学测定装置以及光学测定方法

权利要求书

1.一种光学测定装置，包含：

主体基座；

光学基座，能够移动地结合于所述主体基座；

测定光学系统，固定于所述光学基座；

壳体，容纳所述主体基座、所述光学基座以及所述测定光学系统，并且具有配置于外表面的外部测定基座结合面；以及

光学基座移动机构，使所述光学基座相对于所述主体基座在内部测定位置与外部测定位置之间进行相对移动，所述内部测定位置是基于所述测定光学系统的测定对象位置成为设定在所述主体基座内且所述壳体内的内部测定对象位置的位置，所述外部测定位置是基于所述测定光学系统的测定对象位置成为设定在所述主体基座外且所述壳体外的外部测定对象位置的位置，

所述外部测定对象位置设定为成为外部测定基座内，该外部测定基座能够结合于所述壳体的所述外部测定基座结合面。

2.根据权利要求1所述的光学测定装置，其中，

还包含：试样载置台，被支承于所述主体基座，配置有用于保持试样的试样保持器，

所述内部测定对象位置与所述试样保持器所保持的试样的位置对应。

3.一种光学测定装置，包含：

主体基座；

光学基座，能够移动地结合于所述主体基座；

测定光学系统，固定于所述光学基座；

试样载置台，被支承于所述主体基座，配置有用于保持试样的试样保持器；

光学基座移动机构，使所述光学基座相对于所述主体基座在内部测定位置与外部测定位置之间进行相对移动，所述内部测定位置是基于所述测定光学系统的测定对象位置成为设定在所述主体基座内的、与所述试样保持器所保持的试样的位置对应的内部测定对象位置的位置，所述外部测定位置是基于所述测定光学系统的测定对象位置成为设定在所述主体基座外的外部测定对象位置的位置；以及

试样载置台移动机构，使所述试样载置台相对于所述主体基座在测定载置台位置与退避载置台位置之间进行相对移动，所述测定载置台位置是将所述试样保持器所保持的试样配置于所述内部测定对象位置的位置，所述退避载置台位置是不会阻碍基于所述测定光学系统的所述外部测定对象位置处的测定的位置。

4.根据权利要求3所述的光学测定装置，其中，

所述光学基座移动机构构成为：使所述光学基座沿着所述光学基座相对于所述试样保持器所保持的试样接近/分离的第一方向，在所述内部测定位置与所述外部测定位置之间移动，

所述试样载置台移动机构构成为：使所述试样载置台沿着与所述第一方向交叉的第二方向，在所述测定载置台位置与所述退避载置台位置之间移动。

5.根据权利要求4所述的光学测定装置，其中，

所述试样保持器构成为：沿着所述第二方向将多个试样保持在所述试样载置台上，

所述试样载置台移动机构以将所述多个试样中的任意一个配置在所述内部测定对象位置的方式使所述试样载置台移动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学测定装置，其中，还包含：

外部测定基座，构成为能够结合于所述主体基座；以及

外部试样保持器，被所述外部测定基座支承，在所述外部测定基座装配于所述主体基座时，以将试样呈现在所述外部测定对象位置的方式保持该试样。