[发明专利]一种掩模传输装置和方法

权利要求书

1.一种掩模传输装置，包括：相对放置的外部版库单元及内部版库单元，所述外部版库单元及内部版库单元之间设置有取放版机械手和交换版机械手，且所述取放版机械手和交换版机械手相对放置，且所述外部版库单元、内部版库单元、取放版机械手和交换版机械手呈矩形排布；

所述外部版库单元和内部版库单元均用于接收掩模版，所述外部版库单元包括升降台，所述升降台上安装有掩模版承载台，所述内部版库单元包括版架，在所述版架上设置有密封装置，以密封所述版架；

所述取放版机械手包括机械手本体，所述机械手本体上安装有第一版叉，以夹持掩模版，所述第一版叉相对所述机械手本体上下滑动以带动掩模版运动；

所述交换版机械手包括旋转台，所述旋转台上安装有垂向运动机构，所述垂向运动机构下部安装有第二版叉，所述第二版叉可相对所述旋转台转动，以实现掩模版的转动，所述第二版叉下部设置有吸盘，通过所述吸盘吸附所述掩模版；

所述升降台上还安装有掩模安全检测组件，用于版叉进入版库取版时，保护掩模版安全，所述掩模安全检测组件由第一版叉上的安全定位销、E形槽、6槽分度圆和版叉机械限位共同形成一个掩模版机械安全保护。

2.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：在所述内部版库单元一侧还设置有颗粒度检测单元，其包括检测台，所述检测台上安装有第三版叉和检测仪，所述检测仪一侧安装有运动组件，通过所述运动组件带动所述第三版叉运动，进而实现掩模版的运动。

3.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：所述交换版机械手一侧还设置有预对准单元，其包括检验平台，所述检验平台上安装有照明光源，所述检验平台下部对应安装有位置检测传感器，所述照明光源将光照射至掩模版上，并通过所述位置检测传感器检测掩模版的位置。

4.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：所述第一版叉包括卡爪，所述卡爪上安装有力矩传感器和夹持组件，所述夹持组件夹持所述掩模版。

5.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：所述升降台上还安装有版盒解锁组件，及掩模版规格检测组件，所述版盒解锁组件对版盒开解锁作业，以所述掩模版规格检测组件用于检测掩模版厚度。

6.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：所述第二版叉包括固定架，所述固定架一端固接于所述垂向运动机构下部，其另一端固接有第二版叉主体，所述第二版叉主体上安装有调平组件，以调平所述掩模版，所述第二版叉主体上还设置有支承台，所述支承台上套装有弹簧，所述支承台上端与所述旋转台相接触。

7.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：还包括两条气路，所述吸盘由所述两条气路提供真空，所述两条气路相互独立设置，所述两条气路分别进行供气。

8.根据权利要求1所述的掩模传输装置，其特征在于：还包括真空泵、真空气源以及真空气囊，所述真空气源为吸盘提供吸力，所述真空气囊对所述真空气源进行补偿，所述真空气源和/或真空气囊故障时启动所述真空泵。

9.采用权利要求1-8所述的掩模传输装置进行掩模运输的方法，具体步骤如下：

步骤一：将版盒加载到外部版库单元上，通过升降台将版盒移动至对应的交接工位处，对版盒解锁；

步骤二：取放版机械手移动至外部版库单元交接工位处，取版，并将掩模版传送至内部版库单元；

步骤三：内部版库单元调节掩模版的温度并优化掩模版的洁净度；

步骤四：取放版机械手运动至内部版库单元的指定槽位，进行取版，并将掩模版传送至交换版机械手；

步骤五：交换版机械手取版并垂向移动至指定工位，交换版机械手旋转180°将掩模版旋转至掩模台侧；

步骤六：掩模台取版进行曝光后，移动至交换版机械手交接工位处；

步骤七：交换版机械手从掩模台取版，垂向轴移动至指定工位，将掩模版旋转至取放版机械手侧；

步骤八：取放版机械手将掩模版从交换版机械手取走，并传送至内部版库单元交接处；

步骤九：取放版机械手将掩模版放至内部版库单元中，取放版机械手缩回，内部版库单元进行掩模版温度调节；

步骤十：取放版机械手运动至指定槽位，进行取版，并将掩模版传送至外部版库单元的交接工位处；

步骤十一：外部版库单元垂向机构运动至初始位，将掩模版放至版盒中，对版盒进行关锁操作。