[发明专利]加工装置在审
申请号: | 201810717324.5 | 申请日: | 2018-07-02 |
公开(公告)号: | CN109216235A | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 远藤智章;高乘佑 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒙版 输入画面 加工装置 操作面板 构成要素 加工条件 区域覆盖 输入操作 晶片 去除 覆盖 | ||
1.一种加工装置,其具有:
卡盘工作台,其对被加工物进行保持;
加工单元,其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工;
操作面板,其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面;以及
控制单元,其对各构成要素进行控制,
该加工装置的特征在于,
该控制单元具有:
输入画面登记部,其登记有多个该输入画面;以及
蒙版登记部,其按照每个该输入画面而登记蒙版,该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行,
当对该蒙版登记部登记该蒙版时,对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。
2.根据权利要求1所述的加工装置,其中,
当对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域进行指定时,对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域的角部进行指定而进行登记。
3.根据权利要求1或2所述的加工装置,其中,
当指定该输入画面中的预先确定的特定区域作为要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域时,对该特定区域内的一部分进行指定而进行登记。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的加工装置,其特征在于,
在该输入画面中显示切换按钮,该切换按钮将显示切换成蒙遮画面或标准画面,其中,该蒙遮画面在该输入画面上重叠显示该蒙版,该标准画面不在该输入画面上重叠显示该蒙版。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的加工装置,其中,
对该蒙版的颜色的浓淡进行调整,从而设定隔着该蒙版而显示的该输入画面的视觉辨认性。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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