[发明专利]加工装置在审
申请号: | 201810717324.5 | 申请日: | 2018-07-02 |
公开(公告)号: | CN109216235A | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 远藤智章;高乘佑 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒙版 输入画面 加工装置 操作面板 构成要素 加工条件 区域覆盖 输入操作 晶片 去除 覆盖 | ||
提供加工装置,能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。该加工装置具有:操作面板,其显示输入晶片的加工条件的输入画面(66a);以及控制单元,其对各构成要素进行控制,控制单元具有:输入画面登记部,其登记有输入画面(66a);以及蒙版登记部,其按照每个输入画面(66a)登记蒙版(67a),该蒙版(67a)将输入画面(66a)的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法进行,当对蒙版登记部登记该蒙版(67a)时,对输入画面(66a)的要用蒙版覆盖的区域(85)和要去除蒙版的区域(86)进行指定并进行登记。
技术领域
本发明涉及加工装置,其具有显示输入画面的操作面板。
背景技术
通常公知有如下的加工装置,利用卡盘工作台对各种半导体晶片、封装基板、陶瓷基板等板状的被加工物进行保持,并使用切削刀具、磨削磨具或激光束等对被加工物进行加工。这种加工装置中,为了对加工速度及加工区域等各种加工条件进行设定而具有操作面板,该操作面板具有触摸面板式的输入画面(例如,参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开2009-117776号公报
此外,在加工条件(数值、选项等)中,存在如下的条件:当变更条件时无法按照预期实施加工,例如产生导致晶片破损等的致命的加工不良。因此,设想了如下的构成:为了在通常的生产(加工)时抑制操作者错误地变更加工条件,设置成能够设定所谓的屏幕保护(screen saver)那样的锁定画面,使操作者无法对输入画面整体进行输入。
但是,在生产(加工)时,虽然较少但仍需要对输入画面的输入操作,因此在设定上述锁定画面的构成中,每当需要进行输入操作时,要解除锁定画面的设定,因此存在无法可靠地防止错误的输入操作的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的,其目的在于提供加工装置,能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。
为了解决上述课题并实现目的,本发明是加工装置,其具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工;操作面板,其显示输入该被加工物的加工条件的输入画面;以及控制单元,其对各构成要素进行控制,该加工装置的特征在于,该控制单元具有:输入画面登记部,其登记有多个该输入画面;以及蒙版登记部,其按照每个该输入画面而登记蒙版,该蒙版将该输入画面的规定的区域覆盖而使操作者的输入无法实现,当对该蒙版登记部登记该蒙版时,对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域进行指定而进行登记。
根据该构成,能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版,因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外,利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作,能够实现操作者的作业性的提高。
在该构成中,也可以是,当对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域进行指定时,对该输入画面的要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域的角部进行指定而进行登记。
另外,也可以是,当指定该输入画面中的预先确定的特定区域作为要用该蒙版覆盖的区域或要去除该蒙版的区域时,对该特定区域内的一部分进行指定而进行登记。
另外,也可以是,在该输入画面中显示切换按钮,该切换按钮将显示切换成蒙遮画面或标准画面,其中,该蒙遮画面在该输入画面上重叠显示该蒙版,该标准画面不在该输入画面上重叠显示该蒙版。
另外,也可以是,对该蒙版的颜色的浓淡进行调整,从而设定隔着该蒙版而显示的该输入画面的视觉辨认性。
根据本发明,能够在各输入画面的期望的区域分别设定蒙版,因此能够可靠地防止操作者的错误的输入操作。另外,利用输入画面中的未设定蒙版的区域能够实现所需最低限度的输入操作,能够实现操作者的作业性的提高。
附图说明
图1是示出本实施方式的激光加工装置的构成例的图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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