[发明专利]一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法

权利要求书

1.一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，其特征在于，将氧化铟锡管状靶材素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡管状靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述一体化脱脂烧结包括：

在空气气氛下加热氧化铟锡管状靶材素坯至脱脂温度，进行脱脂；然后在氧气气氛下加热氧化铟锡管状靶材素坯至烧结温度，进行烧结；然后降温至室温，得到氧化铟锡管状靶材。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述一体化脱脂烧结包括：

在空气气氛下，以设置在10～20℃/h之间的加热速率升温，至600～800℃之间进行脱脂，脱脂保温进行36～48小时。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述一体化脱脂烧结包括：

在氧气气氛下，以设置在30～50℃/h之间的加热速率升温，至1500～1600℃之间，进行烧结，烧结保温进行6～12小时，其中，氧气的流量设置在5～20L/min之间。

5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述一体化脱脂烧结包括：

以20～30℃/h降温速率降温至200℃，自然降温至室温，得到氧化铟锡管状靶材。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化铟锡管状靶材素坯的制备包括以下步骤：

S1、氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；

S2、混合粉体与料浆液混合，得到料浆；

S3、料浆喷雾造粒，在管状靶材模具中冷等静压成型，得到氧化铟锡管状靶材素坯。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述混合粉体中，铟与锡的质量比设置为(90～97):(3～10)。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述混合粉体的粒径分布控制为：D10粒径在0.1～0.3μm之间，D50粒径在0.3～0.5μm之间，D90粒径在0.5～0.8μm之间。

9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述料浆中混合粉体的质量含量控制在30％～50％之间。

10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述料浆喷雾造粒的过程中，喷雾造粒进风温度设置为180～220℃，旋转速度设置为10000～16000rpm。