[发明专利]一种利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法

权利要求书

1.一种利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，所述方法包括脱水干燥工序(1)、分解工序(2)、脱硅工序(3)和吸收工序(4)四个工序，具体按以下步骤进行：

1)氟硅酸钠原料首先经过脱水干燥工序得到无水氟硅酸钠，干燥尾气送碱洗塔处理；

2)无水氟硅酸钠送分解工序，得到四氟化硅气体和半成品氟化钠，部分四氟化硅气体返回分解工序用作流化气体，剩余四氟化硅气体作为产品；

3)分解工序得到的半成品氟化钠，一部分进入脱硅工序，进行流态化脱硅处理，得到氟化钠产品，产生富含四氟化硅的尾气，另一部分半成品氟化钠送吸收工序用作吸收剂；

4)脱硅工序产生的富含四氟化硅的尾气送吸收工序，与半成品氟化钠反应得到半成品氟硅酸钠，返回分解工序处理，吸收工序尾气送碱洗塔处理；

所述脱硅工序(3)采用流化床反应器，反应温度为400℃～700℃，停留时间15min～180min，流化气体为净化空气、净化氮气和净化氩气中的一种或几种。

2.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，其特征是，所述脱水干燥工序(1)采用真空干燥、流化床干燥和固定床干燥中的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，其特征是，所述脱水干燥工序(1)中脱水干燥温度为0℃～200℃，干燥时间0.1h～36h。

4.根据权利要求1所述的利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，其特征是，所述分解工序(2)中采用流化床反应器，分解温度为400℃～700℃，停留时间15min～180min，流化气体为四氟化硅气体。

5.根据权利要求1-4任一项所述的利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，其特征是，所述吸收工序(4)采用流化床反应器，反应温度为25℃～300℃，停留时间15min～180min，流化气体为脱硅工序产生的四氟化硅尾气。