[发明专利]一种新型晶圆撕膜机

权利要求书

1.一种新型晶圆撕膜机，包括工作平台（1）、显示屏（2）、撕膜机主体（4）、辅助壳（8）以及撕膜机主体（4）下表面设置的支撑机构，其特征在于：所述撕膜机主体（4）的上表面设置有防护机构，所述防护机构包括限位槽（3）、凹槽（5）、控制盖（6）、轴承（7）、把手（9）、弹性垫片（10）和限位柱（11），所述工作平台（1）安装设置在撕膜机主体（4）的上表面中间位置处，所述显示屏（2）安装固定于撕膜机主体（4）的侧面，所述辅助壳（8）安装固定于撕膜机主体（4）的上侧，所述限位槽（3）对称开设在撕膜机主体（4）的上表面且位于工作平台（1）的两侧，所述凹槽（5）开设在撕膜机主体（4）的上表面边缘位置处且与控制盖（6）的位置相对应，所述弹性垫片（10）安装放置在凹槽（5）的内部，所述轴承（7）对称安装固定在控制盖（6）的两侧，所述控制盖（6）通过轴承（7）与撕膜机主体（4）的上表面连接且控制盖（6）的下表面边缘位置与凹槽（5）卡合，所述把手（9）安装固定在控制盖（6）的侧面中间位置处，所述限位柱（11）对称安装固定在控制盖（6）的下表面并放置在限位槽（3）的内部，所述控制盖（6）的上表面设置有控制机构。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆撕膜机，其特征在于：所述控制机构包括第一磁体（12）、第一固定槽（13）、第二磁体（14）、第二固定槽（15）和连接杆（16），所述第一固定槽（13）对称开设在控制盖（6）的上表面两端，所述第一磁体（12）固定放置在第一固定槽（13）的内部并与第二磁体（14）相互吸引，所述第二磁体（14）固定放置在第二固定槽（15）的内部，所述第二固定槽（15）开设在连接杆（16）的侧面，所述连接杆（16）对称安装在辅助壳（8）的侧面且与第一固定槽（13）的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆撕膜机，其特征在于：所述支撑机构包括支撑腿（17）、防震垫（18）、活动槽（19）和防滑垫（20），所述支撑腿（17）安装固定在撕膜机主体（4）的下表面四角位置处并放置在活动槽（19）的内部，所述活动槽（19）开设在撕膜机主体（4）的下表面四角位置处，所述防震垫（18）放置在活动槽（19）的内部并与支撑腿（17）的顶端连接，所述防滑垫（20）套设在支撑腿（17）的底端表面。

4.根据权利要求2所述的一种新型晶圆撕膜机，其特征在于：所述连接杆（16）的一端与辅助壳（8）侧面连接固定另一端设置有第二磁体（14），所述连接杆（16）通过第二磁体（14）与第一磁体（12）相互吸引和控制盖（6）侧面连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆撕膜机，其特征在于：所述凹槽（5）的内部放置有弹性垫片（10），所述弹性垫片（10）的外表面与凹槽（5）的内表面贴合，所述弹性垫片（10）的内表面放置有控制盖（6）下表面边缘壳体，所述限位柱（11）的一端与限位槽（3）卡合另一端与控制盖（6）的下表面连接固定。