[发明专利]一种区熔单晶炉新型吊料装置在审
| 申请号： | 201810746596.8 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN108707963A | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李伟凡;王遵义;涂颂昊;张志富;赵阳;刘琨;孙晨光;王彦君;孙健 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/08 | 分类号： | C30B13/08 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卡料盘 螺栓 多晶料 料装置 卡料 直槽 旋转轴底座 调整盘 弯槽 区熔单晶炉 调整螺栓 调整组件 悬挂杆 变径 拨片 焊接 旋转轴装配 变形量 旋转轴 滑动 拉晶 了吊 料量 装配 变形 相隔 生产 | ||
1.一种区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于，包括多晶料调整组件和卡料盘组件，
所述多晶料调整组件包括调整盘本体(11)、第一拨片(12)、第二拨片(13)、第一旋转轴(14)、第二旋转轴(15)、第一旋转轴底座(16)，第二旋转轴底座(17)，第三旋转轴底座(18)，第四旋转轴底座(19)，第一调整螺栓(110)，第二调整螺栓(111)，第三调整螺栓(112)，所述第一旋转轴底座(16)，第二旋转轴底座(17)，第三旋转轴底座(18)，第四旋转轴底座(19)焊接在调整盘本体(11)上，所述第一拨片(12)通过第一旋转轴(14)装配在第一旋转轴底座(16)和第三旋转轴底座(18)上，所述第二拨片(13)通过第二旋转轴(15)装配在第二旋转轴底座(17)和第四旋转轴底座(19)上。
所述卡料盘组件由直槽卡料盘(21)，弯槽卡料盘(22)，变径悬挂杆(23)，第一卡料螺栓(24)，第二卡料螺栓(25)，第三卡料螺栓(26)组成，所述变径悬挂杆(23)与直槽卡料盘(21)焊接，所述弯槽卡料盘(22)通过第一卡料螺栓(24)，第二卡料螺栓(25)，第三卡料螺栓(26)与直槽卡料盘(21)装配。
2.根据权利要求1所述的区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于：所述第一旋转轴(14)两端用卡簧将其固定，所述第二旋转轴(15)两端用卡簧将其固定。
3.根据权利要求2所述的区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于：所述第一调整螺栓(110)，第二调整螺栓(111)，第三调整螺栓(112)装在调整盘本体(11)上，彼此相隔120度角。
4.根据权利要求3所述的区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于：所述第一卡料螺栓(24)，第二卡料螺栓(25)，第三卡料螺栓(26)可在直槽和弯槽中滑动。
5.根据权利要求4所述的区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于：所述第一卡料螺栓(24)，第二卡料螺栓(25)，第三卡料螺栓(26)与多晶料接触。
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