[发明专利]一种区熔单晶炉新型吊料装置

说明书

本发明创造提供了一种区熔单晶炉新型吊料装置，主要解决了吊料装置容易变形和吊料量满足不了目前需求的问题。它包括多晶料调整组件和卡料盘组件。多晶料调整组件由调整盘本体、两个拨片、两个旋转轴、四个旋转轴底座、三个调整螺栓组成。其中旋转轴底座焊接在调整盘本体上，拨片通过旋转轴装配在旋转轴底座上；调整螺栓装在调整盘上，彼此相隔120度角。卡料盘组件由直槽卡料盘，弯槽卡料盘，变径悬挂杆，三个卡料螺栓组成。变径悬挂杆与直槽卡料盘焊接；弯槽卡料盘通过卡料螺栓与直槽卡料盘装配；卡料螺栓可在直槽和弯槽中滑动，调节三个卡料螺栓与多晶料接触。本发明可有效降低吊料装置的变形量，提高拉晶过程中多晶料的稳定性及生产的安全性。

技术领域

本发明创造属于区熔单晶制造技术领域，尤其是涉及一种区熔单晶炉新型吊料装置。

背景技术

区熔FZ100C单晶炉是专门为8英寸区熔单晶的生产设计的国产区熔设备，随着半导体行业黄金时代的到来，8英寸区熔单晶的市场需求量迅速增加，为了保证8英寸区熔单晶的稳定生产，除了优化单晶拉制的工艺外，还需保证设备的稳定性与可靠性。

8英寸区熔单晶是目前世界上采用区熔法能拉制的最大直径单晶，其投料量远大于4寸、5寸和6寸单晶的投料量，一般每次投料可达到100公斤左右，多晶料尺寸约为Φ170mm*2000mm。投料量的增大对设备的吊料装置的稳定性与安全性就提出了更高的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在提出一种可增加区熔单晶炉吊料装置的稳定性和可靠性的技术方案，以解决原吊料装置在使用过程中存在调整组件变形及卡料组件变形的技术问题。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种区熔单晶炉新型吊料装置，其特征在于，包括多晶料调整组件和卡料盘组件，

进一步的，所述所述多晶料调整组件包括调整盘本体，第一拨片，第二拨片，第一旋转轴，第二旋转轴，第一旋转轴底座，第二旋转轴底座，第三旋转轴底座，第四旋转轴底座，第一调整螺栓，第二调整螺栓，第三调整螺栓，所述第一旋转轴底座、第二旋转轴底座、第三旋转轴底座、第四旋转轴底座分别焊接在调整盘本体上，所述第一拨片通过第一旋转轴装配在第一旋转轴底座和第三旋转轴底座上，所述第二拨片通过第二旋转轴装配在第二旋转轴底座和第四旋转轴底座上。

进一步的，所述卡料盘组件由直槽卡料盘，弯槽卡料盘，变径悬挂杆，第一卡料螺栓，第二卡料螺栓，第三卡料螺栓组成，所述变径悬挂杆与直槽卡料盘焊接，所述弯槽卡料盘通过第一卡料螺栓、第二卡料螺栓、第三卡料螺栓与直槽卡料盘装配在一起。

进一步的，所述第一旋转轴两端用卡簧(卡簧未标出)将其固定，第二旋转轴两端用卡簧(卡簧未标出)将其固定。

进一步的，所述第一调整螺栓、第二调整螺栓和第三调整螺栓都装配在调整盘本体上，彼此相隔120度角。

进一步的，所述第一卡料螺栓，第二卡料螺栓和第三卡料螺栓可分别在直槽和弯槽中滑动。

进一步的，所述第一卡料螺栓，第二卡料螺栓和第三卡料螺栓可分别与多晶料接触。

相对于现有技术，本发明创造所述的区熔单晶炉新型吊料装置具有以下优势：

本吊料装置结构简单，拆装方便，且使用灵活。卡料盘悬挂杆采用变径杆代替原等径细杆，杆端细径部分尺寸增大，使悬挂杆的变形量降低，提高了卡料盘的使用寿命，降低备用件的储备量。调整盘由拨片代替原来的V型槽，降低了调整盘的变形量，保证了多晶料与高频线圈的对中。

本吊料装置，适用于大的投料量，且更好的实现与上料机械手的配合，从而提高工作效率。

附图说明