[发明专利]一种固晶机吸嘴快速对位机构在审
申请号: | 201810749427.X | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN108598037A | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 艾兵 | 申请(专利权)人: | 上海赢朔电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/68 |
代理公司: | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 屠轶凡 |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸嘴 安装孔 气管接头 快速对位 固定座 固晶机 对位 伸入 工业相机 技术效果 内圆周壁 水平连通 透明上盖 中心孔 拆卸 受力 竖直 贴合 配合 灯光 封闭 贯穿 | ||
1.一种固晶机吸嘴快速对位机构,包括固定座、吸嘴和气管接头,其特征在于:
所述固定座上设有竖直贯穿所述固定座的所述吸嘴安装孔,以及水平连通所述吸嘴安装孔的气管接头安装孔,所述气管接头伸入所述气管接头安装孔,并与所述气管接头安装孔过度配合;
所述吸嘴从所述吸嘴安装孔的底部伸入所述吸嘴安装孔,并与所述吸嘴安装孔的内圆周壁受力贴合;
所述吸嘴安装孔的顶部通过透明上盖封闭。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机吸嘴快速对位机构,其特征在于:所述吸嘴安装孔的内圆周上设有一个与所述气管接头安装孔位置对应的环形凸缘,所述环形凸缘的上端面形成台阶面,所述台阶面与所述透明上盖之间设有上密封环。
3.根据权利要求2所述的一种固晶机吸嘴快速对位机构,其特征在于:所述环形凸缘的下端面形成倒台阶面,所述吸嘴的顶面设有可与所述倒台阶面受力接触的下密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种固晶机吸嘴快速对位机构,其特征在于:所述固定座上还设有位于气管接头安装孔下方,水平连通所述吸嘴安装孔的螺栓安装孔,所述螺栓安装孔中设有与所述螺栓安装孔的内圆周壁过度配合的螺栓。
5.根据权利要求1所述的一种固晶机吸嘴快速对位机构,其特征在于:所述透明上盖是由光学玻璃制成的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造