[发明专利]三自由度点胶定位平台在审
申请号: | 201810754069.1 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN108649011A | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 刘吉柱;李金东;沈琪;王阳俊;潘明强;陈立国;陈涛;孙立宁 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人: | 袁丽花 |
地址: | 215104 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方向机械 定位平台 三自由度 点胶 机械结构 伺服电机驱动 直线电机驱动 定位精度高 伺服电机 旋转定位 直线电机 驱动 移动 | ||
本发明公开了一种三自由度点胶定位平台,所述三自由度点胶定位平台包括X方向机械结构、安装于X方向机械结构上方的Y方向机械结构、及安装于Y方向机械结构上方的旋转运动机械结构,所述X方向机械结构和Y方向机械结构分别通过直线电机驱动进行X方向和Y方向上的运动,旋转运动机械结构通过伺服电机驱动进行旋转运动。本发明中的三自由度点胶定位平台采用直线电机和伺服电机进行驱动,可实现XY平面内的移动和旋转定位,结构简单,定位精度高。
技术领域
本发明涉及制造及测试技术领域,特别是涉及一种三自由度点胶定位平台。
背景技术
近年来随着3C产业的迅猛发展,三自由度定位平台广泛应用于制造和测试领域,作为芯片封装的三自由度点胶运动平台,对运动平台的精度提出了更高的要求。
现有技术中的点胶运动平台主要是通过旋转电机和滚珠丝杆来实现直线定位,由于丝杆的蠕变和驱动结构方式的限制,使得现有技术中的点胶运动平台响应慢、行程短、精度低、有效载荷小,极大的制约了相关制造行业的发展。
因此,针对上述技术问题,有必要提供一种三自由度点胶定位平台。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种三自由度点胶定位平台,可实现高精度、高响应、高速度的运动。
为了实现上述目的,本发明一实施例提供的技术方案如下:
一种三自由度点胶定位平台,所述三自由度点胶定位平台包括X方向机械结构、安装于X方向机械结构上方的Y方向机械结构、及安装于Y方向机械结构上方的旋转运动机械结构,所述X方向机械结构和Y方向机械结构分别通过直线电机驱动进行X方向和Y方向上的运动,旋转运动机械结构通过伺服电机驱动进行旋转运动。
作为本发明的进一步改进,所述X方向机械结构包括:
底板;
固定安装于底板上的X方向导轨;
滑动安装于X方向导轨上的X方向导轨滑块;
固定安装于X方向导轨滑块上方的Y方向底座;
固定安装于Y方向底座下方的X方向直线电机;
固定安装于底板侧面的X方向光栅尺及固定安装于Y方向底座侧面的X方向光栅读数头,所述X方向光栅尺与X方向光栅读数头之间平行且具有气隙。
作为本发明的进一步改进,所述X方向机械结构还包括固定安装于底板上的X方向磁轨,X方向磁轨位于X方向导轨内侧,X方向直线电机与X方向磁轨对应安装。
作为本发明的进一步改进,所述X方向机械结构中包括两个平行设置的X方向磁轨,Y方向底座下方固定安装有2个X方向直线电机。
作为本发明的进一步改进,所述Y方向机械结构包括:
固定安装于Y方向底座上的Y方向导轨;
滑动安装于Y方向导轨上的Y方向导轨滑块;
固定安装于Y方向导轨滑块上方的旋转固定座;
固定安装于旋转固定座下方的Y方向直线电机;
固定安装于Y方向底座侧面的Y方向光栅尺及固定安装于旋转固定座侧面的Y方向光栅读数头,所述Y方向光栅尺与Y方向光栅读数头之间平行且具有气隙;
固定安装于Y方向底座上的拖链支架及固定安装于拖链支架上的拖链。
作为本发明的进一步改进,所述Y方向机械结构还包括固定安装于Y方向底座上的Y方向磁轨,Y方向磁轨位于Y方向导轨内侧,Y方向直线电机与Y方向磁轨对应安装。
作为本发明的进一步改进,所述旋转运动机械结构包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造