[发明专利]一种声表面波器件及其制备方法

权利要求书

1.一种声表面波器件，其特征在于，包括压电基板和叉指换能器；

所述叉指换能器位于所述压电基板的第一表面；其中，所述叉指换能器包括相对设置的两条母线，两条所述母线之间设置有至少两条电极，所述电极包括与任一所述母线相接触的第一端部、与所述第一端部相对的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之间的中间部；所述第二端部与另一所述母线之间具有间隙，所述间隙形成沿所述母线延长线的方向延伸的间隙区域；

所述第二端部形成沿所述母线延长线的方向延伸的边缘区域，所述中间部形成沿所述母线延长线的方向延伸的中间区域；所述压电基板的第一表面被所述电极覆盖的区域设置有具有预设体波声速的山丘层，所述电极覆盖所述山丘层，以使所述间隙区域的声波速度大于所述中间区域的声波速度，并且所述中间区域的声波速度大于所述边缘区域的声波速度；

所述山丘层包括至少两层子山丘层；所述子山丘层沿所述压电基板的所述第一表面向上依次设置；任一所述子山丘层沿垂直于所述母线延长线方向的长度均不相同；

具有不同宽度的子山丘层对应不同的寄生模式，以减少声表面波在传递过程中所产生的多种寄生模式。

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述山丘层位于所述边缘区域，所述山丘层的体波声速小于或等于所述电极的体波声速。

3.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述山丘层位于所述中间区域，所述山丘层的体波声速大于所述电极的体波声速。

4.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述声表面波器件还包括：

沿所述母线延长线方向位于所述叉指换能器两侧的反射栅。

5.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述声表面波器件包括：

至少两个所述叉指换能器；

沿所述母线延长线方向位于任一所述叉指换能器两侧的反射栅；

所述叉指换能器相互耦合。

6.一种声表面波器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在压电基板第一表面的预设区域设置具有预设体波声速的山丘层；

在设置有所述山丘层的压电基板的第一表面设置叉指换能器，以形成所述声表面波器件；其中，所述叉指换能器包括相对设置的两条母线，两条所述母线之间设置有至少两条电极，所述电极包括与任一所述母线相接触的第一端部、与所述第一端相对的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之间的中间部；所述第二端部与另一所述母线之间具有间隙，所述间隙形成沿所述母线延长线的方向延伸的间隙区域；所述第二端部形成沿所述母线延长线的方向延伸的边缘区域，所述中间部形成沿所述母线延长线的方向延伸的中间区域；所述电极覆盖所述山丘层，以使所述间隙区域的声波速度大于所述中间区域的声波速度，同时所述中间区域的声波速度大于所述边缘区域的声波速度；

所述山丘层包括至少两层子山丘层；所述子山丘层沿所述压电基板的所述第一表面向上依次设置；任一所述子山丘层沿垂直于所述母线延长线方向的长度均不相同；

具有不同宽度的子山丘层对应不同的寄生模式，以减少声表面波在传递过程中所产生的多种寄生模式。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述在压电基板第一表面的预设区域设置具有预设体波声速的山丘层包括：

在所述压电基板的第一表面溅射所述山丘层；

刻蚀所述山丘层，以在所述压电基板第一表面的预设区域留有所述山丘层。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述在压电基板第一表面的预设区域设置具有预设体波声速的山丘层包括：

在所述压电基板的第一表面设置胶层；

刻蚀所述胶层，以暴露所述压电基板第一表面的预设区域；

在刻蚀所述胶层之后，在所述压电基板的第一表面溅射所述山丘层；

剥离所述胶层，以在所述压电基板第一表面的预设区域留有所述山丘层。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述在设置有所述山丘层的压电基板的第一表面设置叉指换能器之后，所述方法还包括：

在所述压电基板的第一表面设置温度补偿层，所述温度补偿层覆盖所述叉指换能器。