[发明专利]一种声表面波器件及其制备方法

说明书

本发明公开了一种声表面波器件，将叉指换能器母线之间划分为间隙区域、边缘区域以及中间区域，从任一母线指向两条母线之间的方向依次为间隙区域、边缘区域以及中间区域。通过在压电基板与电极之间设置被电极覆盖的山丘层可以使得间隙区域的声波速度大于中间区域的声波速度，并且中间区域的声波速度大于边缘区域的声波速度。通过上述设置可以使得叉指换能器之间传播的波形过滤为活塞波形，从而将非活塞波形的其余波形过滤，进而有效减少声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因子。本发明还提供了一种声表面波器件的制备方法，通过该方法做制备的声表面波器件同样具有上述有益效果。

技术领域

本发明涉及声波器件领域，特别是涉及一种声表面波器件及其制备方法。

背景技术

随着近年来科技不断的进步，声表面波器件得到了极大的发展。所谓声表面波，即在压电固体材料表面产生和传播、且振幅随深入固体材料的深度增加而迅速减小的弹性波。相比于沿固体介质内部传播的体声波，声表面波具有两个显著特点：一是能量密度高，其中约90％的能量集中于厚度等于一个波长的表面薄层中；二是传播速度慢，约为纵波速度的45％，是横波速度的90％。

基于上述声表面波的特点，在现阶段声表面波器件能实现多种复杂信号处理功能，时间带宽积大，动态范围大，并且具有体积小、重量轻、稳定可靠、易于大批量生产且重复性好等优点，相应的声表面波器件通常作为谐振器使用，具有广阔的应用前景。

但是由于声表面波自身的特点，会产生较多的寄生模式，从而降低声表面波器件的品质因子。在现有技术中，他通常会使用变迹法来提高声表面波器件的品质因子。

但是在现有技术中，通过变迹法不能有效减少寄生模式的数量，从而对于声表面波器件的品质因子提升效果有限。

发明内容

本发明的目的是提供一种声表面波器件，具有较高的品质因子；本发明的另一目的在于提供一种声表面波器件的制备方法，通过该方法制备出的声表面波器件具有较高的品质因子。

为解决上述技术问题，本发明提供一种声表面波器件，包括压电基板和叉指换能器；

所述叉指换能器位于所述压电基板的第一表面；其中，所述叉指换能器包括相对设置的两条母线，两条所述母线之间设置有至少两条电极，所述电极包括与任一所述母线相接触的第一端部、与所述第一端部相对的第二端部以及位于所述第一端部和所述第二端部之间的中间部；所述第二端部与另一所述母线之间具有间隙，所述间隙形成沿所述母线延长线的方向延伸的间隙区域；

所述第二端部形成沿所述母线延长线的方向延伸的边缘区域，所述中间部形成沿所述母线延长线的方向延伸的中间区域；所述压电基板的第一表面被所述电极覆盖的区域设置有具有预设体波声速的山丘层，所述电极覆盖所述山丘层，以使所述间隙区域的声波速度大于所述中间区域的声波速度，并且所述中间区域的声波速度大于所述边缘区域的声波速度。

可选的，所述山丘层包括至少两层子山丘层；所述子山丘层沿所述压电基板的所述第一表面向上依次设置；任一所述子山丘层沿垂直于所述母线延长线方向的长度均不相同。

可选的，所述山丘层位于所述边缘区域，所述山丘层的体波声速小于或等于所述电极的体波声速。

可选的，所述山丘层位于所述中间区域，所述山丘层的体波声速大于所述电极的体波声速。

可选的，所述声表面波器件还包括：

沿所述母线延长线方向位于所述叉指换能器两侧的反射栅。

可选的，所述声表面波器件包括：

至少两个所述叉指换能器；

沿所述母线延长线方向位于任一所述叉指换能器两侧的反射栅；

所述叉指换能器相互耦合。